電容(róng)式傳(chuán)感(gǎn)器(qì)常用的(dí)測(cè)量(liáng)電路

   電容式傳感器(qì)的測量電路(lù)就是(shì)將電容式傳(chuán)感器看成(chéng)一個電(diàn)容並轉換(huàn)成電(diàn)壓或其他(tā)電量的(dí)電(diàn)路(lù)
。因(yīn)此(cǐ)，常用的測(cè)量電路主(zhǔ)要有(yǒu)橋式(shì)電，調頻(pín)電(diàn)路，脈(mài)衝寬度(dù)製電(diàn)路(lù)，運算放大(dà)器電路，二極(jí)管(guǎn)雙T形交流電橋和(hé)緩(huǎn)刑二極管(guǎn)充(chōng)放電法(fǎ)等(děng)
。

   調(tiáo)頻(pín)電(diàn)路(lù)實際是把電容(róng)式傳(chuán)感器(qì)作(zuò)為振蕩器諧振(zhèn)回(huí)路的一部(bù)分,當輸入(rù)量導致(zhì)電(diàn)容量(liáng)發生(shēng)變(biàn)化時(shí)，振(zhèn)蕩(dàng)器(qì)的(dí)振(zhèn)蕩(dàng)頻(pín)率就(jiù)發生(shēng)變(biàn)化
。雖然可將(jiāng)頻(pín)率作(zuò)為測(cè)量係統的輸出(chū)量(liáng)，用(yòng)以(yǐ)判斷被測(cè)非(fēi)電量的大小(xiǎo)，但(dàn)此(cǐ)時(shí)係統是非(fēi)綫性(xìng)的，不(bù)易校正(zhèng)，因此得(dé)加(jiā)入鑒頻(pín)器(qì)，將(jiāng)頻率(shuài)的變(biàn)化(huà)轉換為電(diàn)壓振幅的(dí)變(biàn)化，經過放(fàng)大就可以用儀(yí)器指示或記錄儀記錄下來
。  

  在實際(jì)應(yīng)用(yòng)中，常采(cǎi)用(yòng)差動式(shì)結(jié)構，即使(shǐ)靈敏度提高1倍(bèi)，又使非綫性誤差大大降低(dī)，抗(kàng)力增(zēng)強
。電(diàn)容式(shì)傳感器可用(yòng)來(lái)測量(liáng)直綫位移(yí)，角位(wèi)移(yí)，振(zhèn)動振幅(測(cè)至(zhì)0.05μm的(dí)微(wēi)小振幅)，尤其(qí)適合測(cè)量高頻(pín)振動振幅，精密軸(zhóu)係回轉(zhuǎn)精度，加速(sù)度等機械(xiè)量，還可用(yòng)來測(cè)量壓力，差(chà)壓力(lì)，液位，料(liào)麵(miàn)，糧(liáng)食中(zhōng)的水分含量，非金(jīn)屬材料的塗層(céng)，油膜(mó)厚度，測量(liáng)電介(jiè)質的(dí)濕(shī)度(dù)，密度，厚度(dù)等(děng)
。在自動(dòng)檢(jiǎn)測和(hé)控製係(xì)統(tǒng)中(zhōng)也(yě)常常用來(lái)作(zuò)為位(wèi)置信(xìn)號發生器
。  

從能(néng)量(liáng)轉換的角度(dù)而(ér)言(yán)，電容變換器(qì)為無源變換器(qì)，需要(yào)將所測的(dí)力(lì)學量轉換(huàn)成(chéng)電(diàn)壓(yā)或電流後進行放大(dà)和處理
。力學量中(zhōng)的(dí)綫位移，角位(wèi)移(yí)，間隔，距離，厚(hòu)度(dù)，拉(lā) 伸，壓(yā)縮，膨(péng)脹(zhàng)，變形等(děng)無(wú)不與長(cháng)度有著密切的量；這(zhè)些(xiē)量(liáng)又(yòu)都(dū)是(shì)通(tōng)過長度(dù)或者長度(dù)比值(zhí)進行測量的(dí)量(liáng)，而其測(cè)量(liáng)方(fāng)法的相互關(guān)係(xì)也很密切
。

另(lìng)外，在有(yǒu)些(xiē)條(tiáo)件(jiàn)下，這些力學(xué)量(liáng)變化相當緩慢(màn)，而且(qiě)變(biàn)化範圍極小，如果要求測(cè)量極(jí)小(xiǎo)距離或(huò)位移時(shí)要有較高的分辨率，其(qí)他傳(chuán)感(gǎn)器很難做到實現(xiàn)高分辨(biàn)率(shuài)要求(qiú)，在精密測(cè)量(liáng)中所普(pǔ)遍使用的差(chà)動變壓器傳(chuán)感(gǎn)器的(dí)分(fēn)辨(biàn)率僅達到1～5μm數(shù)量級(jí)；而(ér)有一種電(diàn)容測微儀，他(tā)的分辨率(shuài)為(wéi)0.01μm，比(bǐ)前者提高了(liǎo)兩(liǎng)個數(shù)量級，zui大量程為100±5μm，因此他在精密小位(wèi)移測(cè)量中受(shòu)到(dào)青睞
。