高(gāo)溫四探(tàn)針測(cè)試儀測(cè)試電阻率(shuài)的原理(lǐ)和方法

高溫四探(tàn)針(zhēn)測試儀(yí)可以實現高溫，真空(kōng)及惰(duò)性(xìng)氣氛條件下測(cè)量(liáng)矽，鍺(zhě)單晶(jīng)（棒料(liào)，晶片）電(diàn)阻率(shuài)和外(wài)延層，擴(kuò)散層(céng)和(hé)離子注(zhù)入層(céng)的方(fāng)塊電阻(zǔ)以及(jí)測量(liáng)導電玻(bō)璃（ITO）和其他(tā)導(dǎo)電薄(báo)膜的(dí)方塊電阻。

高溫四(sì)探(tàn)針測試儀的測(cè)量原(yuán)理(lǐ)

1. 測量(liáng)電阻率(shuài)的方法很(hěn)多(duō)，如三探針法(fǎ)，電(diàn)容-電(diàn)壓(yā)法，擴(kuò)展(zhǎn)電(diàn)阻法等，四探(tàn)針法則是一(yī)種廣泛采用的(dí)標(biāo)準(zhǔn)方(fāng)法，高(gāo)溫四探針測(cè)試儀(yí)采(cǎi)用(yòng)經典(diǎn)直(zhí)排四探(tàn)針(zhēn)原(yuán)理，同(tóng)時采(cǎi)用(yòng)了(liǎo)雙(shuāng)電(diàn)測(cè)組合四探針法(fǎ)。
2. 經典(diǎn)的直(zhí)排(pái)四(sì)探針法測(cè)試電(diàn)阻(zǔ)率(shuài)，要(yào)求(qiú)使(shǐ)用(yòng)等間(jiān)距的(dí)探(tàn)針(zhēn)，如果針間(jiān)距(jù)離不(bù)等(děng)或探針(zhēn)有(yǒu)遊(yóu)移(yí)，就會造成實驗誤差。當(dāng)被(bèi)測片較小(xiǎo)或(huò)在(zài)大片邊緣(yuán)附(fù)近測量時，要(yào)求(qiú)計入(rù)電(diàn)場畸(jī)變的影(yǐng)響進行(háng)邊界(jiè)修正。

      3.采(cǎi)用雙電測組合四探針的(dí)出(chū)現(xiàn)，為提高(gāo)薄膜(mó)電阻(zǔ)和體電(diàn)阻率測(cè)量準確度創造了有利(lì)條(tiáo)件(jiàn)。

高(gāo)溫四(sì)探(tàn)針測試儀采用雙電測(cè)組(zǔ)合四探針(zhēn)法(fǎ)的(dí)優勢

1. 采用雙(shuāng)電測組(zǔ)合四探針法進(jìn)行(háng)測(cè)試，測試結(jié)果與(yǔ)探針(zhēn)間距無關，能夠消(xiāo)除間(jiān)距(jù)不(bù)等(děng)及(jí)針(zhēn)尖機(jī)械遊移變化的影(yǐng)響(xiǎng)，因(yīn)此四(sì)探(tàn)針(zhēn)測試台(tái)允(yǔn)許使用不(bù)等距探針(zhēn)頭。
2. 采用(yòng)雙電測組合(hé)四探針法(fǎ)具有自動(dòng)修正(zhèng)邊(biān)界效(xiào)應的功(gōng)能，對小(xiǎo)尺(chǐ)寸被側(cè)片(piàn)或探針在(zài)較(jiào)大(dà)樣(yàng)品(pǐn)邊(biān)緣附近(jìn)時(shí)，不(bù)需(xū)要(yào)對樣品(pǐn)做幾(jī)何測量(liáng)，也不需要(yào)尋(xún)找修(xiū)正因(yīn)子。
3. 采用雙電(diàn)測組合四(sì)探針法(fǎ)，不(bù)移動四(sì)探針針頭，同(tóng)時使(shǐ)用三種(zhǒng)模(mó)式(shì)測量，既可計算得(dé)到測(cè)試部(bù)位的電阻均匀性。