新(xīn)材料電阻(zǔ)率測定(dìng)直排四(sì)探針法——確定(dìng)電學測量(liáng)裝(zhuāng)置的(dí)適(shì)用(yòng)性和準確(què)度

5.3確(què)定(dìng)電學測量裝置的適(shì)用性和準(zhǔn)確度

5.3.1將恒流源(yuán)短路或(huò)關閉(bì)，斷開探(tàn)針裝(zhuāng)置(zhì)與(yǔ)電(diàn)學測(cè)量裝置的連(lián)接。

5.3.2按(àn)表2選(xuǎn)擇(zé)模擬(nǐ)電路中電阻r的(dí)阻(zǔ)值.將(jiāng)電(diàn)流引(yǐn)綫（圖2中1和4）接到模擬電路(lù)電流端(duān)，將(jiāng)電壓引(yǐn)綫（圖2中(zhōng)2和3）接(jiē)到(dào)模擬電路(lù)的(dí)電(diàn)壓端(duān)。

5.3.3  如果采(cǎi)用直(zhí)接(jiē)測(cè)量(liáng)電(diàn)阻（電壓(yā)-電(diàn)流比值(zhí)）儀(yí)器，按(àn)5.3.5條進行，否則如(rú)下進行(háng)：讓電(diàn)流(liú)在任(rèn)一方向(xiàng)（稱(chēng)之為(wéi)正向(xiàng)），調節(jié)電流(liú)大(dà)小(xiǎo)到近(jìn)似於(yú)表(biǎo)4推薦(jiàn)的圓片測(cè)量電流值，測量標(biāo)準電(diàn)阻兩(liǎng)端的(dí)電勢(shì)差V_af，或(huò)直接測(cè)量流過(guò)模擬(nǐ)電路的電(diàn)流I_sf，再測量(liáng)模擬電(diàn)路(lù)的電(diàn)勢差(chà)V_af。將電(diàn)流換向(xiàng)，測量V_sf或I_sf，和(hé)V_KI記入表3a。

5.3.4  重復 5.3.3條操作(zuò)，直到(dào)每(měi)一(yī)極(jí)性(xìng)進行了(liǎo)5次測量(liáng)。然後按(àn)5.3.6條進行(háng)。

5.3.5 用(yòng)直接測量(liáng)電阻(zǔ)的儀器。開始在任(rèn)一(yī)極(jí)性(xìng)上(shàng)（稱之為(wéi)正向(xiàng)）測量(liáng)模(mó)擬電路(lù)的(dí)正向電(diàn)阻(zǔ)r_f。改變(biàn)連(lián)接(jiē)極性，測量反(fǎn)向(xiàng)電(diàn)阻r_r。繼續改(gǎi)變極(jí)性進(jìn)行測量(liáng)，直到每(měi)-極(jí)性進行了5次(cì)測量。記(jì)入表3b。

5.3.6   按(àn)6.2條計(jì)算(suàn)平均電阻r和標(biāo)準偏差a。

5.3.7   電(diàn)學(xué)測量(liáng)裝置應(yīng)滿足(zú)下述(shù)條件(jiàn)：

5.3.7.1   r 值應在(zài)已(yǐ)知r值(zhí)的(dí)0. 3%以內。

5.3.7.2   樣品標(biāo)準偏差(chà)σ 應(yīng)小於(yú)r下的(dí)0.3%。

5.3.7.3   設備(bèi)應(yīng)能測量出0.05%電(diàn)阻(zǔ)的(dí)變(biàn)化。