表麵體(tǐ)積電阻率(shuài)測試儀(yí)工作原理(lǐ)

根(gēn)據歐姆定律，被測電(diàn)阻Rx等(děng)於施加電(diàn)壓V除以通(tōng)過(guò)的(dí)電流I
。傳(chuán)統的(dí)高(gāo)阻計的(dí)工作(zuò)原(yuán)理(lǐ)是測量電(diàn)壓V固(gù)定(dìng)，通(tōng)過測量(liáng)流過(guò)取樣電阻的電流I來得(dé)到電阻值
。從(cóng)歐姆定律(lǜ)可以看出(chū)，由於電(diàn)流I是與電(diàn)阻成反(fǎn)比，而(ér)不是成正比，所以電阻的(dí)顯(xiǎn)示值是(shì)非綫(xiàn)性(xìng)的，即(jí)電阻無(wú)窮(qióng)大時(shí)，電流(liú)為零，即表頭(tóu)的(dí)零位(wèi)處(chǔ)是(shì)∞，其附(fù)近的刻度非(fēi)常密，分辨率很(hěn)低整個(gè)刻度是非綫性的(dí)
。又由於測量不同(tóng)的(dí)電(diàn)阻(zǔ)時，其電(diàn)壓(yā)V也會有些變(biàn)化，所以(yǐ)普通(tōng)的高(gāo)阻(zǔ)計是精度差，分辨(biàn)率(shuài)低
。

表麵(miàn)體積電阻(zǔ)率(shuài)測試儀(yí)是(shì)同時測(cè)出電(diàn)阻(zǔ)兩端的(dí)電壓(yā)V和流過電阻的(dí)電(diàn)流I，通過內(nèi)部(bù)的大規(guī)模集(jí)成(chéng)電路完(wán)成電壓(yā)除以(yǐ)電(diàn)流(liú)的計(jì)算，然(rán)後把(bǎ)所得到的結(jié)果經過A/D轉換(huàn)後(hòu)以數字顯示出(chū)電阻(zǔ)值，即便是(shì)電阻兩(liǎng)端的電壓V和(hé)流(liú)過(guò)電(diàn)阻的電流I是同時(shí)變化(huà)，其顯示(shì)的(dí)電(diàn)阻值不(bù)象(xiàng)普(pǔ)通(tōng)高阻計那(nà)樣(yàng)因(yīn)被測(cè)電壓(yā)V的變(biàn)化(huà)或(huò)電(diàn)流Ｉ的變化而變，所以(yǐ)，即使測(cè)量(liáng)電壓，被測量電阻，電(diàn)源(yuán)電壓(yā)等發(fā)生變(biàn)化對其結(jié)果影(yǐng)響(xiǎng)不大，其測量精度很高 ，從理論上(shàng)講(jiǎng)其(qí)誤差可(kě)以做(zuò)到零，而(ér)實際(jì)誤差可(kě)以做到千分之幾(jī)或(huò)萬分之幾(jī)
。