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鐵電薄(báo)膜鐵(tiě)電——電滯回綫(xiàn)的測(cè)量方法選擇
目(mù)前(qián),測量(liáng)電滯回(huí)綫(xiàn)的方法較(jiào)多(duō)。其中測(cè)試(shì)方法簡(jiǎn)單,應(yīng)用(yòng)廣泛(fàn)的是(shì)Sawyer-Tower電(diàn)路,如(rú)圖(tú)所示,其中虛框(kuàng)部分(fēn)為鐵電薄(báo)膜(mó)樣(yàng)品的等效(xiào)電(diàn) 路(lù),Cxi為綫性感應(yīng)等效電容(róng),Rx為鐵電薄膜(mó)樣(yàng)品(pǐn)的(dí) 漏電(diàn)導(dǎo)及損耗等(děng)效電(diàn)阻(zǔ),Cxs為與自發極(jí)化反轉(zhuǎn)對應的(dí)非綫性(xìng)等(děng)效(xiào)電(diàn)容(róng)。
Sawyer-Tower電(diàn)路(lù)
在理想(xiǎng)情(qíng)況下(xià),若隻(zhī)考慮Cxs的作用(yòng)(認為Cxi與Rx開(kāi)路(lù)),很(hěn)容(róng)易證(zhèng)明Uy與(yǔ)鐵(tiě)電薄(báo)膜樣(yàng)品的(dí)極化(huà)強度(dù)P成(chéng)正比(bǐ)。但一般(bān)情況(kuàng)下,鐵(tiě)電(diàn)薄膜樣(yàng)品(pǐn)同(tóng)時(shí)具(jù)有漏電(diàn)導和(hé)綫性感應電容(róng),如果要獲(huò)得鐵電薄 膜樣品(pǐn)的木征(zhēng)電(diàn)滯回(huí)綫,必須在測貴過程中對樣品的漏(lòu)電導和綫(xiàn)性感應電容(róng)進行合適的補償,但這在(zài)實際(jì)是較難(nán)處(chǔ)理的。另外,此電路中外接積分電容Co的(dí)選(xuǎn)取和(hé)精度(dù)會影響測(cè)試的(dí)度,當(dāng)然(rán)給鐵(tiě)屯(tún)薄膜樣(yàng)品(pǐn)提供的(dí)信號(hào)源(yuán)U的頻率(shuài)對(duì)測試結(jié)果(guǒ)也有很(hěn)大的影響,這樣就(jiù)較難對測試結果(guǒ)進(jìn)行標定(dìng)和。
我們選用如下(xià)圖(tú)所(suǒ)示(shì)的(dí)測量電(diàn)路,此(cǐ)電(diàn)路(lù)由(yóu)信(xìn)號源U,被(bèi)測樣品,電(diàn)流(liú)放(fàng)大(dà)器和積分器組成(chéng)。信號源(yuán)U提(tí)供給被測(cè)樣品的電流(liú)經電流(liú)放大器放大再(zài)經積(jī)分(fēn)器(qì)積(jī)分(fēn)後(hòu)得到Uy進入(rù)測量係統(tǒng)。即(jí)使(shǐ)被測(cè)樣品(pǐn)端(duān)加的電壓(yā)U為零(líng),積分器上仍然維(wéi)持(chí)電(diàn)壓,被測樣(yàng)品(pǐn)端(duān)是虛(xū)地的,因此,此(cǐ)測(cè)試(shì)電路(lù)討稱為(wéi)虛(xū)地(dì)模(mó)式。此(cǐ)電(diàn)路(lù)取(qǔ)消了外接(jiē)電(diàn)容Co,可減小(xiǎo)寄(jì)生(shēng)元(yuán)件的影(yǐng)響。此電路(lù)的測試(shì)精度(dù)僅取決於積分器積分(fēn)電容C1的(dí)精(jīng)度,減(jiǎn)少了對(duì)測(cè)試的影(yǐng)響環(huán)節,比(bǐ)較容易定標和,並且能實(shí)現較高的測(cè)貴(guì)準(zhǔn)確度。

電(diàn)滯回(huí)綫測(cè)量電路
