等離子體聚(jù)合物薄膜介(jiè)紹與製(zhì)備方法(fǎ)
 

　　聚合物(wù)薄膜由(yóu)於在化學，物理和(hé)生(shēng)物傳感器，微(wēi)電子器(qì)件，非(fēi)綫性(xìng)光學(xué)(NL0)和分子(zǐ)器(qì)件等領域中的廣泛(fàn)應用(yòng)，己受到人(rén)們越來越(yuè)多的關注。而(ér)傳統的聚合物(wù)薄膜由幹耐熱性和化學穩(wěn)定性較差(chà)，而(ér)且表(biǎo)麵(miàn)較(jiào)粗糙(cāo)，應用受到一定限製。因(yīn)此，為了滿(mǎn)足工業上(shàng)的各種用途，製備高聚(jù)合物薄膜(mó)顯得(dé)尤為(wéi)重(zhòng)要。
 

　　聚(jù)合物薄(báo)膜(mó)的(dí)製備主要(yào)有兩種(zhǒng)方法(fǎ)：一種是濕法(fǎ)工藝(yì)，如Langmuir-Blodgett方法(fǎ)，浸漬或(huò)溶(róng)劑澆鑄(zhù)法(fǎ)等
；另(lìng)一種(zhǒng)是(shì)幹法工藝(yì)，如物理(lǐ)氣(qì)相沉(chén)積和(hé)化學(xué)氣相沉積(CVD)法(fǎ)。與其(qí)它方法相(xiāng)比，等離(lí)子(zǐ)體(tǐ)化學氣相(xiāng)沉積聚(jù)合(PCVD)在工(gōng)藝上具有以下(xià)幾(jī)個特點：  (1)所(suǒ)用(yòng)原料氣(qì)可不(bù)包(bāo)含傳統聚(jù)合反應(yīng)官(guān)能(néng)團類型(xíng)，例如(rú)雙鍵等
；  (2)形成的薄膜對(duì)各種(zhǒng)基(jī)體(tǐ)表麵，包括(kuò)傳統的(dí)聚(jù)合(hé)物，玻(bō)璃和(hé)金(jīn)屬(shǔ)等，具有較高的(dí)連(lián)貫(guàn)性(xìng)和(hé)粘附性(xìng)。  (3)聚合(hé)反應不需(xū)要使(shǐ)用溶劑就可(kě)以進行，工(gōng)藝過程溫度低
；  (4)可以容(róng)易(yì)地(dì)製得厚度為(wéi)50nm-l?m的超(chāo)薄，無“針(zhēn)孔”等離(lí)子體聚(jù)合(hé)物薄膜(mó)(PCVDF)。
 

　　等(děng)離子體聚(jù)合(hé)反應(yīng)是用有機物(wù)單(dān)體(tǐ)或有機金屬原(yuán)料氣(qì)在等(děng)離子體(tǐ)反應(yīng)器(qì)中(zhōng)進行(háng)輝(huī)光(guāng)放電，它(tā)包(bāo)含等離子(zǐ)體(tǐ)活性(xìng)物種(zhǒng)之間，等離(lí)子體和(hé)表麵物(wù)種之間(jiān)以及(jí)表(biǎo)麵物(wù)種和表(biǎo)麵(miàn)物種(zhǒng)之(zhī)間的反應。有(yǒu)兩(liǎng)種*的(dí)反應(yīng)歷(lì)程(chéng)：等(děng)離子(zǐ)誘導(dǎo)聚合和等離子(zǐ)態聚(jù)合反應。前(qián)者是傳統(tǒng)的自(zì)由基(jī)引發(fā)聚合(hé)反應，其中單(dān)體包含一(yī)些不飽和的(dí)碳(tàn)—碳雙鍵
；等離子態聚合(hé)反(fǎn)應依(yī)賴(lài)於(yú)等(děng)離(lí)子體產(chǎn)生(shēng)的(dí)電子(zǐ)和其(qí)它具有足(zú)夠(gòu)能量(liáng)可以破壞(huài)化學鍵的活(huó)性物種(zhǒng)。等(děng)離子體(tǐ)聚合反(fǎn)應是製備(bèi)超薄聚合物(wù)薄膜(mó)重(zhòng)要的技(jì)術，通(tōng)過仔細控製聚(jù)合反(fǎn)應參數，根(gēn)據(jù)特(tè)殊(shū)的化學(xué)官能(néng)團(tuán)，厚度和(hé)其(qí)它化(huà)學(xué)和物理性(xìng)質方麵的要求(qiú)，可(kě)定向設(shè)計製備聚合(hé)物薄膜。

       與(yǔ)傳(chuán)統(tǒng)聚合物(wù)不同(tóng)，等離子體(tǐ)聚合物不是由(yóu)規則(zé)的重復(fù)單元(yuán)形(xíng)成鏈(liàn)節，而是形成(chéng)具(jù)有不(bù)規則三維(wéi)交聯網(wǎng)狀(zhuàng)的結(jié)構。即使(shǐ)使用相同的(dí)單(dān)體進行(háng)反(fǎn)應(yīng)，等離子(zǐ)體聚合物的化(huà)學結構(gòu)和物(wù)理，性質(zhì)也(yě)可(kě)能(néng)與傳統的聚合(hé)物大不相同(tóng)。等(děng)離(lí)子體聚合膜一(yī)般具(jù)有(yǒu)良(liáng)好的(dí)化學惰性，不溶(róng)於水，優(yōu)良(liáng)的(dí)機(jī)械柔韌(rèn)性(xìng)和耐熱性，因(yīn)此被廣泛(fàn)用作保護塗層(céng)，電子(zǐ)，光學(xué)和(hé)生物(wù)醫學膜(mó)等。