四探針(zhēn)測(cè)試技術是半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)生產(chǎn)中主要監測(cè)手段之一，並且在半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)材(cái)料的測量(liáng)中(zhōng)發揮著越來(lái)越(yuè)重要(yào)的作用。四探(tàn)針(zhēn)測試技術(shù)是一種(zhǒng)測(cè)量技(jì)術，在有些(xiē)情況(kuàng)下還需要有高分(fēn)辨率。每一種(zhǒng)四探針法(fǎ)對(duì)探針(zhēn)的結(jié)構，位置和針(zhēn)尖距都(dū)有不(bù)同(tóng)的要求，一般(bān)情況下(xià)，針(zhēn)距(jù)都(dū)是很小(xiǎo)的(dí)，可能(néng)低於1mm。在大片(piàn)徑樣品(pǐn)測量(liáng)中(zhōng)，要(yào)盡可能(néng)地減(jiǎn)小測量區域，以便好(hǎo)地觀(guān)測(cè)樣品電阻(zǔ)率(shuài)的不均(jūn)匀性。

鑒(jiàn)於以上原因，在(zài)測量(liáng)時需(xū)要對測試台，樣品(pǐn)和探(tàn)針都進行細(xì)微的實時監(jiān)測，保(bǎo)證測量是在(zài)允(yǔn)許的(dí)情況下進行的。但是人的肉眼的分辨(biàn)率(shuài)有(yǒu)限，直(zhí)接(jiē)依(yī)靠肉(ròu)眼觀(guān)測容(róng)易(yì)疲勞(láo)而(ér)產生誤(wù)判(pàn)，而且(qiě)不能進(jìn)行記錄，會給測量結(jié)果帶來(lái)很大的(dí)誤(wù)差(chà)。通常情況下(xià)可以通(tōng)過(guò)顯微(wēi)鏡解(jiě)決(jué)肉(ròu)眼分(fēn)辨率(shuài)低(dī)的問題(tí)，但(dàn)是(shì)檢(jiǎn)測(cè)起來(lái)還(huán)是(shì)相當麻煩。視(shì)頻采(cǎi)集(jí)技(jì)術的發(fā)展可以(yǐ)很好地(dì)解決以上問題(tí)，能對測試過程(chéng)進行(háng)圖像采集，記錄和(hé)分析(xī)，達到實(shí)時監(jiān)測的要(yào)求，而且(qiě)有很高的(dí)分(fēn)辨率，方(fāng)便(biàn)測(cè)量員對(duì)測量過程(chéng)的(dí)控製。

視頻采集技(jì)術在四探(tàn)針測(cè)量中(zhōng)發揮著重(zhòng)要(yào)作(zuò)用，主要體(tǐ)現在兩(liǎng)個方(fāng)麵(miàn)
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1）對顯微鏡監測(cè)對(duì)象的圖像(xiàng)進行(háng)實(shí)時采集；

2）對(duì)采(cǎi)集到(dào)的(dí)視頻數據(jù)進(jìn)行(háng)處理，包括分析(xī)，記錄和顯(xiǎn)示。一般可(kě)以借助計(jì)算機實現(xiàn)視頻(pín)信息(xī)的記錄(lù)與(yǔ)顯(xiǎn)示，從(cóng)而使(shǐ)得傳統的(dí)探針測試台與(yǔ)計(jì)算機技(jì)術緊密(mì)地結合起來。

視頻采(cǎi)集(jí)技術的引進(jìn)實(shí)現了對(duì)四(sì)探(tàn)針(zhēn)測(cè)量(liáng)過程真(zhēn)正(zhèng)意義上實時(shí)監測，提(tí)高了測試儀(yí)的控製精que性，從而(ér)提高了測(cè)量(liáng)結(jié)果的(dí)精度和準確性，尤其(qí)對觀(guān)測樣(yàng)品電(diàn)阻率的(dí)不(bù)均匀性有很(hěn)大的幫助。