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當(dāng)前(qián)位(wèi)置(zhì):首頁 > 技術(shù)文(wén)章 > 鐵電(diàn)材料的尺(chǐ)寸效應和(hé)表麵界麵效應(yīng)

鐵電材(cái)料(liào)的尺(chǐ)寸效(xiào)應(yīng)和(hé)表麵界麵效應

更新時間:2024-01-08      點擊(jī)次數:3420

鐵(tiě)電材(cái)料(liào)的研究(jiū)現狀(zhuàng)鐵電(diàn)薄膜(mó)是一類(lèi)重要的(dí)薄膜材料(liào),是目前(qián)高新技(jì)術研究的前(qián)沿(yán)和(hé)熱(rè)點之一。究其原因,可概(gài)括為(wéi)介(jiè)電(diàn)性,鐵電開關(guān)效應,壓電效(xiào)應,熱釋電(diàn)效(xiào)應,電(diàn)光效應,聲光(guāng)效(xiào)應,光折(zhē)變效(xiào)應(yīng)和非(fēi)綫性(xìng)光學(xué)效應(yīng)等(děng)特點,該(gāi)材(cái)料既可以單(dān)獨利(lì)用(yòng)上述諸(zhū)效(xiào)應製作不同的功(gōng)能(néng)器件,也(yě)可(kě)以綜合利用兩個(gè)或兩(liǎng)個以(yǐ)上的(dí)效應,製(zhì)作(zuò)多(duō)功(gōng)能器件,集成(chéng)器件或機敏器(qì)件,因(yīn)此(cǐ),鐵電薄(báo)膜(mó)和(hé)集成(chéng)鐵(tiě)電器(qì)件(jiàn)在(zài)世界(jiè)範(fàn)圍內引起(qǐ)了(liǎo)科技(jì)工(gōng)作(zuò)者,產(chǎn)業(yè)部門(mén),甚至(zhì)政府部門(mén)的關注。近(jìn)幾(jī)年的研究(jiū)熱(rè)點如下:2.1尺寸(cùn)效應和表麵(miàn)界麵(miàn)效(xiào)應近年(nián)來,鐵(tiě)電薄(báo)膜(mó)和以鐵電(diàn)體(tǐ)為(wéi)組元的復合型功能材(cái)料發(fā)展很快,促進了對(duì)低維鐵(tiě)電(diàn)材(cái)料特(tè)性的理論(lùn)研(yán)究(jiū)。人們(mén)對(duì)鐵電薄膜研(yán)究的高漲(zhǎng)熱情,其主要(yào)動力是鐵電薄膜在記(jì)憶器件(jiàn)上(shàng)的應(yīng)用。理論研究的(dí)主要途徑有GLD的唯象理(lǐ)論和橫場(cháng)Ising模型。主要(yào)探(tàn)究尺寸效應和表麵(miàn)效應。隨(suí)著(zhuó)鐵電薄膜和(hé)鐵電超微粉的發展(zhǎn),鐵(tiě)電尺(chǐ)寸(cùn)效應(yīng)已成為(wéi)迫切(qiē)需(xū)要(yào)解決的實(shí)際問題(tí)。對(duì)於集成(chéng)鐵電(diàn)器(qì)件在有(yǒu)限尺(chǐ)寸下的發展有重要(yào)意(yì)義。實驗上(shàng)已經(jīng)證實鐵電薄膜(mó)厚度薄到(dào)一(yī)定(dìng)的程度鐵電性將消失,其(qí)中(zhōng)的物理原(yuán)因還(huán)不是很(hěn)清楚。我們(mén)知(zhī)道(dào)鐵電性(xìng)的產(chǎn)生(shēng)是庫侖(lún)長(cháng)程作用(yòng)(不像鐵磁(cí)體(tǐ)是(shì)短程(chéng)交換作(zuò)用的(dí)結果(guǒ)),尺寸(cùn)太(tài)小(xiǎo),長程有序(xù)將消(xiāo)失。但(dàn)是(shì)鐵(tiě)電(diàn)薄(báo)膜隻是(shì)在一(yī)個方(fāng)向上尺(chǐ)寸很小,在(zài)另外兩個(gè)方(fāng)向上尺(chǐ)寸仍(réng)很大,可(kě)見鐵電(diàn)性的消失,薄膜表麵的(dí)影響(xiǎng)因素很大(dà)。所(suǒ)以在(zài)薄膜等低維係(xì)統中(zhōng)尺寸效應不可忽略(lüè),深入了解(jiě)尺(chǐ)寸(cùn)效(xiào)應需要(yào)研究(jiū)表麵的晶(jīng)格(gé)結(jié)構,偶(ǒu)極相(xiāng)互(hù)作(zuò)用(yòng)。薄膜(mó)表(biǎo)麵(miàn)處的極化分(fēn)布不(bù)連(lián)續形成退極化場,對(duì)整個係統的極化狀(zhuàng)態產生(shēng)影響,表(biǎo)麵區(qū)域內長程(chéng)偶(ǒu)極作用與(yǔ)體內(nèi)不(bù)同,將導致自(zì)發極(jí)化(huà),相變溫度(dù),極(jí)化(huà)率等(děng)隨(suí)膜厚(hòu)度(dù)而(ér)變(biàn)化。由(yóu)於薄膜(mó)的尺寸(cùn)效應和(hé)表麵(miàn)效應,給(gěi)理論(lùn)研究造(zào)成(chéng)了很大的困難(nán),但也(yě)正(zhèng)是由於(yú)這(zhè)些效應(yīng)使鐵電薄膜(mó)的研究(jiū)富有挑戰(zhàn)性,吸引了大(dà)量的科(kē)學工(gōng)作者對其進行研(yán)究(jiū),尋求(qiú)簡便而合理(lǐ)的方法探究其(qí)中的物理(lǐ)實(shí)質,並希望(wàng)通過理論研(yán)究,為實(shí)驗(yàn)突(tū)破鐵(tiě)電薄(báo)膜(mó)在(zài)尺(chǐ)寸上的限製給(gěi)予方向(xiàng)性指(zhǐ)導(dǎo)。1)外(wài)推長(cháng)度的引(yǐn)入(rù)Kretschme在(zài)均(jūn)匀(yún)GLD三(sān)維鐵電理論(lùn)的基礎上引(yǐn)進了“外推(tuī)長(cháng)度(dù)"的(dí)概(gài)念(niàn),並(bìng)在(zài)GLD自(zì)由能的表達式(shì)中(zhōng)引入(rù)了(liǎo)極化梯度項和一(yī)個表(biǎo)麵自由能項(xiàng),即(jí):


式(shì)中,δ為“外(wài)推(tuī)長(cháng)度"。這種(zhǒng)研究(jiū)方(fāng)法得(dé)到了(liǎo)廣(guǎng)泛的使用(yòng)。TilleyZeks首先用(yòng)此法研究了鐵(tiě)電(diàn)薄膜中二(èr)級(jí)相(xiāng)變,Scoot等將(jiāng)此(cǐ)法推(tuī)廣到一(yī)級相變,主要研究了鐵電薄膜自(zì)發(fā)極化(huà)的分(fēn)布(bù),相變(biàn)溫度(dù),矯頑(wán)電(diàn)場以及介(jiè)電(diàn)常(cháng)數(shù)等(děng)特性(xìng)隨(suí)薄膜(mó)厚度的變(biàn)化。但是(shì)用這種方(fāng)法在理(lǐ)論計(jì)算之前(qián),必(bì)須事先給(gěi)定外推長度,這(zhè)使(shǐ)有“外推長(cháng)度(dù)"這一概念所得(dé)到(dào)結(jié)論的可(kě)靠性(xìng)讓人(rén)懷疑(yí)。現(xiàn)在(zài)已經(jīng)有(yǒu)一些實驗不支持“外推長(cháng)度"的觀點。M.KiyotoshiK.Eguchi指(zhǐ)出,一個20nm厚(hòu)的外(wài)延型SrTiO3單晶(jīng)薄膜(mó),它(tā)的介電(diàn)常(cháng)數是160,僅僅比(bǐ)厚(hòu)度是150nm的膜(mó)的(dí)介(jiè)電常數小(xiǎo)15%.Y.Watanabe等也指出,14nm厚的(dí)BaTiO3薄膜呈現(xiàn)相(xiāng)應(yīng)體(tǐ)材(cái)料的晶體對稱(chēng)性。然(rán)而,仍有很多(duō)人用此觀點來(lái)處(chǔ)理鐵電薄(báo)膜的(dí)表麵(miàn)/界(jiè)麵效應(yīng)。由於(yú)薄(báo)膜製備(bèi)技(jì)術(shù)的(dí)限製(zhì),在薄(báo)膜的表(biǎo)麵層內,會存(cún)在(zài)雜質(zhì),缺陷,表(biǎo)麵(miàn)內(nèi)應力以及電(diàn)極材料(liào)和(hé)鐵電薄(báo)膜(mó)材料(liào)的晶(jīng)格(gé)失配等因(yīn)素(sù),使(shǐ)得薄膜在(zài)垂(chuí)直(zhí)表麵方向上表(biǎo)現為一個(gè)不(bù)均(jūn)匀係(xì)統(tǒng),造(zào)成(chéng)了(liǎo)自(zì)發極化的(dí)不(bù)均(jūn)匀分(fēn)布,進(jìn)而使薄膜(mó)的鐵(tiě)電(diàn)性不同於(yú)三維體材料。這(zhè)種(zhǒng)表(biǎo)麵(miàn)層被稱之為非(fēi)理想表麵(miàn)層(céng)。按照唯(wéi)象(xiàng)的觀點(diǎn),上(shàng)述(shù)這些因(yīn)素改變(biàn)了(liǎo)自(zì)發(fā)極化,意味著在這(zhè)樣(yàng)的(dí)薄膜(mó)內(nèi)自(zì)由能分(fēn)布是(shì)不(bù)均(jūn)匀的。非理想表麵(miàn)層內(nèi)的(dí)自由能(néng)密度(dù)大於(yú)或小(xiǎo)於(yú)薄膜(mó)內部(bù)深處(chǔ)的(dí)自由能密(mì)度。文獻的作者認為(wéi)這是造成鐵電薄(báo)膜(mó)物理(lǐ)特(tè)性(xìng)不同於三維體材料(liào)的(dí)根本(běn)原因。2)Green函數(shù)技術Wesselinowa等用Green函數技(jì)術探討了(liǎo)電(diàn)極化率(shuài)與鐵電薄膜的厚(hòu)度(dù)和溫(wēn)度(dù)的(dí)關(guān)係。文中通過(guò)建立表麵(miàn)處和體(tǐ)材(cái)料(liào)的(dí)相互(hù)作(zuò)用係數研究了(liǎo)極(jí)化(huà)率的變(biàn)化。聶(niè)鵬飛(fēi)等利用雙時Green函(hán)數技(jì)術探(tàn)討了基於贗(yàn)自旋(xuán)-光子相(xiāng)互作(zuò)用模(mó)型的(dí)鐵電薄膜的極化(huà)率(shuài),發現(xiàn)增大耦合作用(yòng)不(bù)僅會(huì)使(shǐ)極化率(shuài)峰(fēng)值向高溫區移動,而(ér)且還(huán)存(cún)在(zài)耦合(hé)作(zuò)用的臨界點,在(zài)該點(diǎn)以下的相變溫度比其(qí)體材料(liào)的(dí)要低(dī),隨(suí)膜厚的減小膜的(dí)相變溫(wēn)度也減(jiǎn)小(xiǎo),臨界(jiè)點以(yǐ)上與之相(xiāng)反(fǎn),這(zhè)與(yǔ)用GLD熱力學理論得出(chū)的結果相(xiāng)同。

鐵(tiě)電(diàn)材料的研究(jiū)現(xiàn)狀鐵電(diàn)薄膜(mó)是(shì)一(yī)類(lèi)重(zhòng)要的薄(báo)膜材料,是目前高新技術研究的(dí)前沿(yán)和熱點之一(yī)。究其原因,可概括為(wéi)介(jiè)電(diàn)性(xìng),鐵(tiě)電(diàn)開關效應,壓(yā)電(diàn)效(xiào)應,熱釋(shì)電效應(yīng),電光效應,聲光效應(yīng),光折變(biàn)效應和(hé)非(fēi)綫(xiàn)性(xìng)光學(xué)效應(yīng)等特(tè)點(diǎn),該(gāi)材(cái)料(liào)既(jì)可以(yǐ)單(dān)獨利用(yòng)上(shàng)述諸(zhū)效應製(zhì)作不(bù)同的(dí)功能器件,也(yě)可(kě)以綜合(hé)利(lì)用(yòng)兩個(gè)或(huò)兩(liǎng)個(gè)以上(shàng)的(dí)效應(yīng),製(zhì)作(zuò)多功(gōng)能(néng)器(qì)件,集(jí)成器(qì)件或(huò)機(jī)敏器件,因此(cǐ),鐵電薄(báo)膜和集(jí)成(chéng)鐵(tiě)電器件在(zài)世界(jiè)範圍內引起(qǐ)了(liǎo)科技工作者(zhě),產業(yè)部門,甚至政府部門的(dí)關(guān)注(zhù)。近幾年的研究熱(rè)點如下(xià):2.1尺(chǐ)寸效應(yīng)和表(biǎo)麵界(jiè)麵(miàn)效應近年(nián)來,鐵電薄(báo)膜(mó)和(hé)以(yǐ)鐵電體(tǐ)為(wéi)組元的復合(hé)型(xíng)功(gōng)能材料發展很快,促(cù)進了對(duì)低(dī)維鐵電材料(liào)特性的(dí)理論研究(jiū)。人們對(duì)鐵(tiě)電薄膜(mó)研(yán)究(jiū)的高漲熱情,其主要動力(lì)是(shì)鐵電(diàn)薄膜在(zài)記憶器件上的應用。理(lǐ)論研(yán)究的(dí)主要途徑有(yǒu)GLD的唯象理(lǐ)論和橫場(cháng)Ising模型。主(zhǔ)要探究(jiū)尺寸(cùn)效應和表麵效(xiào)應(yīng)。隨著鐵電(diàn)薄膜和(hé)鐵電(diàn)超(chāo)微(wēi)粉(fěn)的(dí)發(fā)展(zhǎn),鐵(tiě)電(diàn)尺(chǐ)寸效應(yīng)已(yǐ)成為迫切需(xū)要(yào)解決的實際問題。對(duì)於(yú)集(jí)成鐵電器件在有限(xiàn)尺寸下(xià)的(dí)發(fā)展有重(zhòng)要(yào)意(yì)義。實驗上已(yǐ)經證實(shí)鐵電(diàn)薄膜厚(hòu)度薄(báo)到一定的程(chéng)度鐵電性將(jiāng)消(xiāo)失(shī),其中的物理原因還(huán)不是(shì)很(hěn)清楚(chǔ)。我(wǒ)們知(zhī)道鐵電(diàn)性的產(chǎn)生(shēng)是庫(kù)侖長程(chéng)作用(不(bù)像鐵(tiě)磁(cí)體是短程交換作用的(dí)結果),尺寸(cùn)太小(xiǎo),長(cháng)程(chéng)有(yǒu)序(xù)將消失。但是鐵電(diàn)薄膜(mó)隻(zhī)是(shì)在(zài)一個(gè)方(fāng)向上(shàng)尺寸很小,在另(lìng)外(wài)兩個方向上尺寸(cùn)仍(réng)很大,可見(jiàn)鐵電性(xìng)的(dí)消(xiāo)失(shī),薄膜表麵(miàn)的影(yǐng)響因素(sù)很(hěn)大。所以在薄膜等低維(wéi)係統中尺(chǐ)寸效(xiào)應不可(kě)忽略(lüè),深入了解尺寸(cùn)效(xiào)應需要(yào)研究表(biǎo)麵(miàn)的晶格結構(gòu),偶極(jí)相互(hù)作(zuò)用。薄(báo)膜表麵處(chǔ)的極(jí)化分(fēn)布不連續形成退極化場,對整個係(xì)統(tǒng)的(dí)極化狀(zhuàng)態(tài)產生影響,表麵(miàn)區(qū)域內長(cháng)程(chéng)偶(ǒu)極(jí)作(zuò)用與(yǔ)體(tǐ)內不同(tóng),將導致自發(fā)極化,相(xiāng)變(biàn)溫(wēn)度,極化率等隨(suí)膜厚(hòu)度(dù)而變化。由於(yú)薄膜(mó)的尺(chǐ)寸效(xiào)應和(hé)表(biǎo)麵效應,給理(lǐ)論研(yán)究造(zào)成了(liǎo)很大的困難(nán),但(dàn)也正是由於(yú)這些效應使(shǐ)鐵電薄膜(mó)的(dí)研究(jiū)富(fù)有挑戰(zhàn)性,吸引(yǐn)了(liǎo)大量的(dí)科學工作(zuò)者(zhě)對其進行(háng)研究(jiū),尋求(qiú)簡便(biàn)而合理(lǐ)的方(fāng)法探(tàn)究(jiū)其中(zhōng)的(dí)物理實質(zhì),並(bìng)希(xī)望通(tōng)過理論(lùn)研究,為(wéi)實(shí)驗(yàn)突破(pò)鐵(tiě)電(diàn)薄(báo)膜(mó)在尺寸上的限製給予方向(xiàng)性指導。1)外推長度(dù)的(dí)引入(rù)Kretschme在均(jūn)匀GLD三(sān)維鐵電(diàn)理(lǐ)論的基礎上引(yǐn)進了“外推(tuī)長度(dù)"的(dí)概(gài)念,並(bìng)在GLD自由能的(dí)表(biǎo)達(dá)式中引(yǐn)入了(liǎo)極(jí)化梯(tī)度(dù)項(xiàng)和(hé)一(yī)個表麵自由能項(xiàng),即(jí):

式(shì)中(zhōng),δ為(wéi)“外推(tuī)長度(dù)"。這種(zhǒng)研(yán)究方(fāng)法得(dé)到了廣泛的使(shǐ)用。TilleyZeks首先用(yòng)此(cǐ)法研究了鐵(tiě)電薄(báo)膜中二級相變,Scoot等將(jiāng)此(cǐ)法推(tuī)廣到一(yī)級相(xiāng)變(biàn),主要(yào)研(yán)究(jiū)了鐵電(diàn)薄(báo)膜(mó)自發(fā)極化的分布,相(xiāng)變溫度(dù),矯頑電場(cháng)以及(jí)介電(diàn)常(cháng)數(shù)等特性隨薄膜(mó)厚(hòu)度(dù)的變(biàn)化。但是用這種(zhǒng)方(fāng)法在理(lǐ)論(lùn)計算(suàn)之前(qián),必(bì)須(xū)事(shì)先給(gěi)定(dìng)外(wài)推長(cháng)度,這(zhè)使有“外(wài)推(tuī)長度"這(zhè)一(yī)概念(niàn)所(suǒ)得到結論(lùn)的可(kě)靠(kào)性(xìng)讓人懷疑。現在(zài)已(yǐ)經(jīng)有(yǒu)一些實(shí)驗不支持(chí)“外推長(cháng)度(dù)"的觀(guān)點(diǎn)。M.Kiyotoshi和(hé)K.Eguchi指(zhǐ)出,一個20nm厚的外延型SrTiO3單晶(jīng)薄(báo)膜(mó),它的(dí)介電常(cháng)數(shù)是(shì)160,僅僅比(bǐ)厚度是150nm的膜的介電常數(shù)小15%.Y.Watanabe等也指(zhǐ)出(chū),14nm厚(hòu)的(dí)BaTiO3薄膜呈現相應(yīng)體(tǐ)材(cái)料的晶體對稱(chēng)性(xìng)。然而,仍有很(hěn)多(duō)人(rén)用此觀(guān)點來處理鐵(tiě)電(diàn)薄(báo)膜的表麵/界(jiè)麵效應(yīng)。由於薄(báo)膜製(zhì)備技(jì)術的(dí)限(xiàn)製(zhì),在薄(báo)膜的(dí)表麵(miàn)層(céng)內(nèi),會(huì)存在雜質(zhì),缺(quē)陷,表麵內應力(lì)以(yǐ)及(jí)電極材(cái)料(liào)和鐵(tiě)電(diàn)薄膜材(cái)料的晶格失(shī)配等因素,使得薄(báo)膜(mó)在(zài)垂直表(biǎo)麵(miàn)方向(xiàng)上(shàng)表現(xiàn)為(wéi)一(yī)個(gè)不均(jūn)匀係統,造成了自(zì)發極化(huà)的不均(jūn)匀(yún)分布,進而使(shǐ)薄膜(mó)的(dí)鐵電(diàn)性(xìng)不(bù)同於三(sān)維(wéi)體材(cái)料(liào)。這種(zhǒng)表(biǎo)麵層被稱(chēng)之為非(fēi)理想表麵層。按照唯象(xiàng)的觀點(diǎn),上(shàng)述這些因(yīn)素改(gǎi)變了(liǎo)自發極(jí)化,意味著(zhuó)在這樣(yàng)的薄(báo)膜(mó)內(nèi)自(zì)由能(néng)分布(bù)是不均匀的(dí)。非理想(xiǎng)表(biǎo)麵層(céng)內(nèi)的(dí)自由能密度大於(yú)或(huò)小於(yú)薄膜(mó)內部深處(chǔ)的(dí)自由能(néng)密(mì)度。文獻的作者認為(wéi)這是造成鐵(tiě)電(diàn)薄(báo)膜物理(lǐ)特性不同(tóng)於(yú)三(sān)維(wéi)體材料(liào)的(dí)根(gēn)本(běn)原因。2)Green函數技術Wesselinowa等(děng)用(yòng)Green函數技術探討(tǎo)了(liǎo)電極化(huà)率(shuài)與鐵電(diàn)薄膜(mó)的厚(hòu)度和(hé)溫度(dù)的(dí)關係(xì)。文中(zhōng)通過建(jiàn)立(lì)表麵處(chǔ)和(hé)體材料(liào)的相互作(zuò)用係數研(yán)究了(liǎo)極化率的變化。聶鵬飛等利用(yòng)雙(shuāng)時(shí)Green函數(shù)技術探討(tǎo)了(liǎo)基於(yú)贗自旋(xuán)-光子相互(hù)作用模型(xíng)的(dí)鐵電薄膜(mó)的極(jí)化率,發(fā)現增大(dà)耦合(hé)作(zuò)用不(bù)僅會使極化(huà)率峰(fēng)值向(xiàng)高溫(wēn)區移動,而且還(huán)存在(zài)耦合(hé)作用的臨(lín)界點,在(zài)該(gāi)點以下(xià)的相變溫(wēn)度比(bǐ)其體材料(liào)的(dí)要(yào)低(dī),隨(suí)膜厚的(dí)減(jiǎn)小(xiǎo)膜的相(xiāng)變溫(wēn)度(dù)也減(jiǎn)小(xiǎo),臨(lín)界點(diǎn)以上與(yǔ)之(zhī)相反,這與用(yòng)GLD熱(rè)力學理(lǐ)論(lùn)得(dé)出的結果相同。



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