高(gāo)溫(wēn)四探(tàn)針綜合(hé)測試(shì)係(xì)統（包(bāo)含(hán)薄膜，塊體(tǐ)功能(néng)）是(shì)為(wéi)了方(fāng)便(biàn)的(dí)研究(jiū)在高溫(wēn)條(tiáo)件下(xià)的半導體(tǐ)的導電(diàn)，該(gāi)係(xì)統可以實(shí)現(xiàn)在高溫，真(zhēn)空(kōng)及惰性氣氛條(tiáo)件(jiàn)下測量(liáng)矽(guī)，鍺(zhě)單晶(jīng)（棒(bàng)料，晶片(piàn)）電(diàn)阻(zǔ)率(shuài)和(hé)外延(yán)層，擴散(sàn)層和(hé)離(lí)子層的方(fāng)塊(kuài)電(diàn)阻(zǔ)及測量其(qí)他方塊電(diàn)阻(zǔ)。

高溫四探針(zhēn)綜(zōng)合測試(shì)係統符合(hé)的(dí)標(biāo)準：

1，符(fú)合(hé)GB/T 1551-2009《矽單(dān)晶電阻(zǔ)率(shuài)測定方(fāng)法》

2，符合(hé)GB/T 1552-1995《矽，鍺(zhě)單晶(jīng)電(diàn)阻率測定直流(liú)四(sì)探針(zhēn)法》

最(zuì)後(hòu)我(wǒ)們(mén)來了(liǎo)解一下高(gāo)溫四探針綜合測試係(xì)統的應(yīng)用(yòng)：

1，測試矽類(lèi)半(bàn)導體，金屬，導電塑料(liào)類等硬(yìng)質材(cái)料的電阻率/方阻；

2，可測柔性材(cái)料(liào)導(dǎo)電薄膜電阻(zǔ)率/方阻(zǔ)；

3，金(jīn)屬(shǔ)塗層或薄膜，陶(táo)瓷或(huò)玻璃等(děng)基(jī)底(dǐ)上(shàng)導(dǎo)電膜（ITO膜）電(diàn)阻率(shuài)/方阻；

4，納(nà)米塗(tú)層(céng)等半導(dǎo)體材(cái)料的電阻率(shuài)/方(fāng)阻(zǔ)；

5，電(diàn)阻器體電(diàn)阻，金(jīn)屬導體(tǐ)的(dí)低(dī)，中(zhōng)值電阻以(yǐ)及開關類接觸(chù)電(diàn)阻進(jìn)行(háng)測(cè)量；

6，可(kě)測(cè)試電池(chí)極(jí)片等(děng)箔上塗層(céng)電(diàn)阻率(shuài)方阻(zǔ)。