四探(tàn)針(zhēn)法通(tōng)常(cháng)用來測量半導體的電(diàn)阻(zǔ)率。四探針(zhēn)法(fǎ)測(cè)量(liáng)電阻率有個非常(cháng)大的(dí)優(yōu)點，它(tā)不需(xū)要(yào)較準(zhǔn)
；有(yǒu)時用(yòng)其它方(fāng)法(fǎ)測量電(diàn)阻率時還用四探針法(fǎ)較(jiào)準(zhǔn)。

     與四探(tàn)針(zhēn)法(fǎ)相(xiāng)比，傳(chuán)統的二探(tàn)針法方(fāng)便些(xiē)，因(yīn)為它(tā)隻需要(yào)操(cāo)作兩個(gè)探(tàn)針(zhēn)，但是處理二(èr)探(tàn)針法(fǎ)得到的(dí)數(shù)據卻(què)很(hěn)復雜。如(rú)圖一(yī)，電阻兩端有兩(liǎng)個探(tàn)針接(jiē)觸(chù)，每(měi)個接觸(chù)點既測(cè)量電阻兩端的電流(liú)值(zhí)，也測(cè)量了電阻兩端的(dí)電壓值。

我(wǒ)們希望確(què)定所測(cè)量(liáng)的電(diàn)阻器的電(diàn)阻值，總(zǒng)電阻(zǔ)值：

RT=V/I=2RW+2RC+RDUT
；其(qí)中RW是(shì)導綫電(diàn)阻(zǔ)，RC是接(jiē)觸(chù)電阻，RDUT所要測(cè)量的電阻(zǔ)器的(dí)電(diàn)阻，顯然用(yòng)這(zhè)種(zhǒng)方(fāng)法(fǎ)不能確定RDUT的值(zhí)。矯正的辦法就是使用四點接(jiē)觸(chù)法，即四探針法(fǎ)。如(rú)圖(tú)二，電(diàn)流(liú)的(dí)路徑與(yǔ)圖一中相(xiāng)同(tóng)，但是測量電壓使用的是(shì)另外兩個接(jiē)觸點。盡(jìn)管電(diàn)壓(yā)計(jì)測量的電壓(yā)也包(bāo)含了導(dǎo)綫(xiàn)電(diàn)壓和接觸(chù)電(diàn)壓，但由(yóu)於(yú)電(diàn)壓(yā)計的(dí)內阻(zǔ)很大，通(tōng)過電壓計的(dí)電(diàn)流非常(cháng)小，因此，導(dǎo)綫(xiàn)電壓與(yǔ)接(jiē)觸(chù)電(diàn)壓可(kě)以忽(hū)略不計，測量(liáng)的電壓(yā)值基(jī)本上(shàng)等於(yú)電(diàn)阻(zǔ)器兩端(duān)的電壓值(zhí)。

通過采用(yòng)四探針法取(qǔ)代(dài)二探(tàn)針法(fǎ)，盡(jìn)管電流所(suǒ)走的路(lù)徑是一(yī)樣的，但(dàn)由(yóu)於消(xiāo)除掉了寄生(shēng)壓降，使得測(cè)量變得精que了。四(sì)探針法(fǎ)在後來(lái)，已(yǐ)經變(biàn)得(dé)十分普及，命(mìng)名(míng)為四探(tàn)針(zhēn)法。

Huace-800高溫四探(tàn)針測(cè)試(shì)儀器采用(yòng)四(sì)探針雙(shuāng)電(diàn)測量(liáng)方(fāng)法(fǎ)，適用於生產(chǎn)企(qǐ)業(yè)，高等(děng)院(yuàn)校，科研(yán)部門，是檢驗(yàn)和分析導體材(cái)料(liào)和半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)材料(liào)在(zài)高(gāo)溫，真(zhēn)空(kōng)及氣(qì)氛(fēn)條件下測量(liáng)的一(yī)種重要的工具(jù)。本儀器配(pèi)置各(gè)類(lèi)測(cè)量(liáng)裝置可以測(cè)試不同材料。液晶顯示，無(wú)需(xū)人工(gōng)計(jì)算(suàn)，並帶有(yǒu)溫度補(bǔ)償功能。采用(yòng)AD芯片控製(zhì)，恒流輸(shū)出，結構合(hé)理(lǐ)，質量輕(qīng)便，配(pèi)備(bèi)10英寸(cùn)觸摸屏(píng)，軟件可(kě)保存和(hé)打印數據，自動(dòng)生(shēng)成報表(biǎo)
；本(běn)儀器可顯(xiǎn)示電阻，電(diàn)阻(zǔ)率，方阻(zǔ)，溫(wēn)度，單(dān)位換算，溫(wēn)度(dù)係數(shù)，電流，電壓，探(tàn)針形狀(zhuàng)，探針間(jiān)距，厚度(dù)，電導率，配置不同的測試(shì)治具(jù)可以(yǐ)滿足不同材(cái)料的測試要(yào)求(qiú)。測(cè)試(shì)治具可(kě)以根據(jù)產品及測(cè)試項(xiàng)目要(yào)求選購(gòu)。

雙(shuāng)電測(cè)數字(zì)式(shì)四(sì)探針測試(shì)儀(yí)是運用直綫(xiàn)或方形四(sì)探針(zhēn)雙(shuāng)位測量(liáng)。該(gāi)儀器(qì)設計(jì)符合單(dān)晶(jīng)矽(guī)物理(lǐ)測試(shì)方法(fǎ)標準並(bìng)參(cān)考美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)。利用電流(liú)探(tàn)針，電壓(yā)探針的(dí)變換，進(jìn)行(háng)兩次電(diàn)測量(liáng)，對(duì)數(shù)據進(jìn)行(háng)雙(shuāng)電測分析，自動(dòng)消除樣品幾(jī)何尺(chǐ)寸(cùn)，邊界(jiè)效應(yīng)以(yǐ)及(jí)探針(zhēn)不等距和機械遊移(yí)等因素(sù)對測量(liáng)結(jié)果的影響，它與(yǔ)單(dān)電(diàn)測(cè)直綫或方形四探(tàn)針相(xiāng)比(bǐ)，大(dà)大(dà)提高(gāo)精(jīng)que度(dù)，也可(kě)應(yīng)用於(yú)產品(pǐn)檢測(cè)以及(jí)新(xīn)材料電(diàn)學研(yán)究(jiū)等用(yòng)途。