高溫四(sì)探(tàn)針(zhēn)測試(shì)儀(yí)采(cǎi)用四(sì)探(tàn)針(zhēn)雙電測量(liáng)方(fāng)法，適用於(yú)生產(chǎn)企業，高等(děng)院校(xiào)，科(kē)研部門，是檢驗和分析導體(tǐ)材料和(hé)半導(dǎo)體材(cái)料(liào)在(zài)高(gāo)溫(wēn)，真空(kōng)及(jí)氣(qì)氛(fēn)條(tiáo)件(jiàn)下(xià)測(cè)量的一種重要的工(gōng)具。本儀(yí)器配置(zhì)各類測(cè)量裝置可以(yǐ)測(cè)試不同材(cái)料(liào)。液(yè)晶(jīng)顯示(shì)，無需(xū)人工(gōng)計(jì)算(suàn)，並帶有溫(wēn)度補(bǔ)償(cháng)功(gōng)能。
高溫(wēn)四探針測(cè)試儀的測(cè)量原理
測量(liáng)電(diàn)阻率的(dí)方法很多，如三(sān)探針(zhēn)法，電(diàn)容-電壓(yā)法，擴展電(diàn)阻法(fǎ)等(děng),四探針法則(zé)是一(yī)種廣(guǎng)泛(fàn)采用的標(biāo)準準(zhǔn)
法(fǎ)，儀器(qì)采(cǎi)用經典直排四(sì)探(tàn)針原理，同時采用了(liǎo)雙電測組合四(sì)探針(zhēn)法(fǎ)。
經典(diǎn)的(dí)直排四探(tàn)針法(fǎ)測試電阻率(shuài)，要求使(shǐ)用等間(jiān)距的探針(zhēn)，如果針間距離(lí)不(bù)等(děng)或探針有遊移，就(jiù)會造成(chéng)實驗差(chà)。當被(bèi)測片較小或在(zài)大片(piàn)邊(biān)緣附(fù)近測量(liáng)時，要(yào)求計入電(diàn)場畸(jī)變的(dí)影響進行(háng)邊界修正。
采用雙電測組合四(sì)探(tàn)針的(dí)出現，為(wéi)提(tí)高薄(báo)膜電阻(zǔ)和(hé)體電阻率(shuài)測量(liáng)準確(què)度(dù)創造了(liǎo)有利條件。
高溫四探針(zhēn)測試儀(yí)采用雙(shuāng)電測組合(hé)四(sì)探針(zhēn)法的優(yōu)勢(shì)
采(cǎi)用雙電(diàn)測(cè)組合四探針法進行(háng)測試，測(cè)試(shì)結(jié)果與(yǔ)探針間距(jù)無(wú)關，能夠消除間(jiān)距(jù)不等(děng)及針(zhēn)尖(jiān)機(jī)械遊(yóu)移(yí)變(biàn)化(huà)的影響(xiǎng)，因此(cǐ)四(sì)探(tàn)針(zhēn)測試台允許使(shǐ)用(yòng)不等(děng)距(jù)探針頭(tóu)。
采用(yòng)雙(shuāng)電測組合(hé)四探針(zhēn)法(fǎ)具(jù)有(yǒu)自動(dòng)修正(zhèng)邊(biān)界效應的功(gōng)能，對(duì)小(xiǎo)尺寸被(bèi)側片或探(tàn)針在(zài)較大樣(yàng)品(pǐn)邊緣附近時,不需要對樣品(pǐn)做(zuò)幾(jī)何測量，也(yě)不需(xū)要尋找修正(zhèng)因(yīn)子。
采用雙電測組(zǔ)合四探(tàn)針法，不移動(dòng)四探(tàn)針針(zhēn)頭，同(tóng)時(shí)使(shǐ)用(yòng)三種(zhǒng)模(mó)式(shì)測(cè)量(liáng)，既可計算(suàn)得到測試部位的(dí)電(diàn)阻均(jūn)匀性(xìng)。
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