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當(dāng)前(qián)位置:首頁 > 技術(shù)文章(zhāng) > 鎖相放(fàng)大(dà)器(qì)在低(dī)介電常(cháng)數材(cái)料測(cè)量中(zhōng)的應(yīng)用隨(suí)著集成電路(lù)和通信技術的高速發(fā)展,低介常數(shù)材料(Low-K)被(bèi)廣(guǎng)泛(fàn)的(dí)應(yīng)用(yòng),一般(bān)我(wǒ)們將(jiāng)K值<3的(dí)材料(liào)稱(chēng)為(wéi)低(dī)介(jiè)電(diàn)常數材(cái)料,但在新一代(dài)集成(chéng)電路中,很(hěn)多器(qì)件要求(qiú)材料的(dí)K值<2.5,國(guó)際器件(jiàn)與係統藍(lán)圖(tú)(IRDS)還(huán)建議(yì)在(zài)2028年(nián)前(qián),開發出K值<2的超低(dī)介(jiè)電材料,材料損(sǔn)耗(hào)已經接近甚至小(xiǎo)於0.005。
而傳(chuán)統的(dí)介(jiè)電(diàn)常數(包括介電頻(pín)譜(pǔ),溫譜(pǔ)),常見(jiàn)的測量方式諸如(rú)高(gāo)頻Q表(biǎo)或采用阻(zǔ)抗(kàng)分(fēn)析(xī)儀(yí)都不太(tài)合(hé)適,測(cè)量(liáng)誤差(chà)主要(yào)來(lái)自於測(cè)量夾具及導綫的損(sǔn)耗以(yǐ)及測試(shì)樣品製備時的誤差(chà)。
北(běi)京(jīng)華測試(shì)驗儀器有限公司推出(chū)的低損耗(hào)材(cái)料(liào)介電(diàn)溫(wēn)譜測試係(xì)統有(yǒu)效(xiào)的改善了(liǎo)這一困境(jìng),利用鎖相(xiāng)放(fàng)大器(qì)能(néng)大幅度衰弱(ruò)噪(zào)聲(shēng)幹擾的特(tè)性(xìng),完成低介電常(cháng)數材料(liào)精準的(dí)介(jiè)電溫(wēn)譜(pǔ),頻(pín)譜測量。

鎖相(xiāng)放(fàng)大器基本原理圖
鎖相(xiāng)放大器(qì)是一(yī)種對(duì)交變(biàn)信號(hào)進行(háng)相敏檢波(bō)的(dí)放大器(qì)。鎖相(xiāng)放大器利(lì)用(yòng)和被測信號(hào)有(yǒu)相同(tóng)頻率(shuài)和(hé)相(xiāng)位(wèi)關(guān)係的參(cān)考信號作(zuò)為比較基準,隻對(duì)被測(cè)信號(hào)本(běn)身和那(nà)些與參考(kǎo)信(xìn)號同(tóng)頻(或者倍(bèi)頻(pín)),同相的(dí)噪聲(shēng)分(fēn)量(liáng)有(yǒu)響應。因(yīn)此(cǐ),鎖(suǒ)相(xiāng)放大器能大幅(fú)度抑(yì)製無(wú)用(yòng)噪(zào)聲,改(gǎi)善(shàn)檢測(cè)信噪比(bǐ)。此外,鎖(suǒ)相(xiāng)放大器(qì)有很高的(dí)檢(jiǎn)測靈敏度,信號處理比(bǐ)較(jiào)簡單,是對弱(ruò)信號(hào)檢(jiǎn)測(cè)的一種有(yǒu)效方(fāng)法。將(jiāng)鎖(suǒ)相(xiāng)放(fàng)大(dà)器與電橋(qiáo)相互配(pèi)合,同(tóng)時用(yòng)於(yú)交(jiāo)流(liú)電壓(yā)電(diàn)流(liú)測量,這就(jiù)給(gěi)材(cái)料(liào)的(dí)交流阻(zǔ)抗分(fēn)析提(tí)供(gōng)了(liǎo)一種高(gāo)精(jīng)度(dù)的測(cè)量方式。
在材(cái)料電(diàn)學測量(liáng)領(lǐng)域(yù)。鎖(suǒ)相放(fàng)大器不單(dān)單(dān)可(kě)以用於Low-K材料(liào)的(dí)阻抗測量,還可(kě)應用(yòng)於諸(zhū)如(rú)電池內(nèi)阻測(cè)量(用(yòng)於(yú)儲能電池(chí)健(jiàn)康檢測甚(shèn)至對運行中(zhōng)的(dí)新(xīn)能源(yuán)車(chē)輛(liàng)電池做(zuò)精密(mì)的(dí)在綫(xiàn)檢(jiǎn)測(cè)管(guǎn)理),生物(wù)阻(zǔ)抗(kàng)分(fēn)析,超導(dǎo)材(cái)料的電阻(zǔ)測量,精(jīng)密(mì)電容檢(jiǎn)測(cè)等。

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