半(bàn)導體(tǐ)參(cān)數(shù)測試儀(yí)與(yǔ)MM探(tàn)針台

功能(néng)：

可提供直流電壓(yā)/電流輸(shū)出，直流電(diàn)壓/電(diàn)流測(cè)量和交(jiāo)流信號(hào)輸出(chū)以(yǐ)及阻(zǔ)抗測量(liáng)

主要(yào)技(jì)術(shù)指標：

探(tàn)針(zhēn)台(tái)：

1.探(tàn)針(zhēn)台(tái)主機：卡盤XY運(yùn)動(dòng)範(fàn)圍(wéi)200mm*200mm,Z軸運動(dòng)範圍25mm

2.絲杆軸承確保(bǎo)移動，分(fēn)辨率(shuài)3.5um

3.針座：精度0.7um

4.加熱(rè)台(tái): 溫度範圍室溫(wēn)-400℃

半導體參數(shù)測(cè)試(shì)儀與(yǔ)MM探(tàn)針台(tái)

半導(dǎo)體(tǐ)參(cān)數(shù)測試(shì)儀(yí)

1.直流I-V測試：

具(jù)有(yǒu)4路(lù)SMU，其(qí)中(zhōng)2路中等功率SMU，2路(lù)高分(fēn)辨(biàn)率SMU, 可(kě)同時測(cè)量電(diàn)壓分(fēn)辨率0.5μV，電流分辨(biàn)率0.1fA

2.C-V測(cè)試：頻率1KHz-5MHz；偏置(zhì)電(diàn)壓(yā)：±25V；測(cè)量精(jīng)度±0.2 %

3.可(kě)實現C-V和(hé)I-V測(cè)量(liáng)間自(zì)動(dòng)切(qiē)換，不會影響測量(liáng)精度

4.脈衝IV：

提(tí)供兩(liǎng)路(lù)快速IV/脈衝(chōng)輸(shū)出，具(jù)有任(rèn)意波(bō)形產生功(gōng)能

脈衝(chōng)寬(kuān)度：50ns；脈衝電(diàn)平(píng)範圍：-5V~+5V，+/-10V~0V (50 Ω負(fù)載)；電(diàn)壓(yā)測(cè)量(liáng)精度：±0.1%讀值(zhí), ±0.1% 量程；電(diàn)流測量精度：±0.1% 讀(dú)值, ± 0.2% 量程

主要用途

支持(chí)二極(jí)管，三極管，MOS管等半導(dǎo)體器(qì)件以及材料的直流電(diàn)流(liú)-電(diàn)壓(I-V)測(cè)量，準靜(jìng)態和(hé)中頻(pín)電容-電壓(yā)(C-V)測(cè)量(liáng)，時(shí)域測(cè)量等。

半導體(tǐ)參數(shù)測試(shì)儀與MM探針(zhēn)台(tái)/係統(tǒng)集(jí)成

半導(dǎo)體(tǐ)參(cān)數測試儀與MM探針台/係統集(jí)成(chéng)