HCMP 手動探針(zhēn)台

微型真空探針(zhēn)台是一款專門用(yòng)於材料電(diàn)學表(biǎo)征(zhēng)和測(cè)量的(dí)微型桌麵型電學測(cè)量(liáng)台(tái)，主要(yào)用於介電(diàn)
，壓電
，鐵電(diàn)
，熱釋(shì)電(diàn)
，光電等(děng)材料的電(diàn)學(xué)表(biǎo)征(zhēng)和(hé)測(cè)量，還(huán)可以(yǐ)在真空
，氣(qì)氛環境下(xià)對(duì)材料(liào)進行(háng)電學測量評估(gū)，是(shì)實驗(yàn)室測(cè)量薄膜材(cái)料電學材(cái)料常用工具(jù)，廣(guǎng)泛用於(yú)高校
，科(kē)研(yán)
，航天航空
，軍(jūn)工(gōng)院(yuàn)所(suǒ)等(děng)領(lǐng)域(yù)。

功能(néng)特點

1
，無(wú)人機外觀(guān)設(shè)計開發，讓(ràng)低(dī)溫(wēn)探(tàn)針台(tái)小(xiǎo)巧精密；

2
，XYZ三維移動(dòng)平(píng)台(tái)的開發(fā)，位(wèi)移(yí)分辨率10um以下；

3
，電聲製冷機製冷加(jiā)熱一體化平(píng)台應(yīng)用開發；

4
，液(yè)氮(dàn)製(zhì)冷加熱一(yī)體化平(píng)台應用(yòng)開(kāi)發(fā)；

5
，利用機械彈(dàn)性設計，低溫(wēn)環境下(xià)也有(yǒu)彈性，避免(miǎn)在(zài)探針壓薄(báo)膜樣品是損壞(huài)薄膜；

6
，實現-160℃~450℃的製冷(lěng)和加(jiā)熱測量環境(jìng)，控(kòng)溫(wēn)精度(dù)達到±0.5℃；

7
，采(cǎi)用1000X放大鏡(jìng)顯微鏡設計，有(yǒu)利(lì)於實時(shí)觀(guān)察樣品(pǐn)的測量(liáng)狀態；

8
，廣泛(fàn)用於(yú)復(fù)雜(zá)
，高速(sù)器(qì)件的精密(mì)電器(qì)測量(liáng)，可靠性高(gāo)；

9
，高低溫平台(tái)
，測量(liáng)夾具
，測量軟件等集成(chéng)於(yú)一體，讓(ràng)操作變(biàn)得(dé)簡單(dān)；

10
，可以通(tōng)過(guò)USB傳(chuán)輸(shū)數據，數據(jù)格(gé)式(shì)為Excel格式。

應用場景(jǐng)：晶圓(yuán)芯片(piàn)高低(dī)溫(wēn)測試

測試類型：IV/CV/RF

樣品台(tái)：4英寸(cùn)

溫度範圍(wéi)：77K-673K

真空度：10E-4Pa

顯(xiǎn)微鏡類型：單筒(tǒng)
，體(tǐ)視(shì)
，金(jīn)相(xiāng)顯微鏡

探針臂數量：2-6個

探針(zhēn)臂(bì)移動：50mm*50mm*50mm

測試(shì)接(jiē)口：BNC三同軸

測(cè)試精(jīng)度(dù)：100fA

可搭配(pèi)儀器：源(yuán)表
，半導體(tǐ)參(cān)數分析儀(yí)
，網絡分析(xī)儀(yí)
，示波器等

華(huá)測測(cè)試儀器  HCMP手動探針(zhēn)台(tái)

華(huá)測測(cè)試(shì)儀(yí)器(qì)  HCMP手(shǒu)動探針(zhēn)台