操控性好高(gāo)溫四探(tàn)針測(cè)量(liáng)係(xì)統(tǒng)Huace-600測試(shì)儀器

操控(kòng)性(xìng)好(hǎo)高(gāo)溫(wēn)四探針測(cè)量(liáng)係(xì)統Huace-600測試(shì)儀(yí)器(qì)概述(shù)：

●Huace-600高溫四探(tàn)針測(cè)量係統，該(gāi)係統可(kě)以(yǐ)測量矽(guī)，鍺單(dān)晶（棒料，晶片(piàn)）電阻率，測定(dìng)矽外延(yán)層，擴(kuò)散層和(hé)離子(zǐ)注入層(céng)的(dí)方(fāng)塊電阻 以及(jí)測量(liáng)導(dǎo)電玻(bō)璃(lí)（ITO）和其它導電薄(báo)膜的方塊電(diàn)阻(zǔ)，該設備(bèi)按照(zhào)單晶矽(guī)物理測試(shì)方(fāng)法(fǎ)標準設計(jì)的(dí)。

●采(cǎi)用(yòng)由四端(duān)測量方法測試(shì)電(diàn)阻(zǔ)率係統與高溫試驗箱為(wéi)一體的(dí)的高溫測試係(xì)統(tǒng)，滿足(zú)半(bàn)導體(tǐ)及導體材料(liào)因溫度變化對電阻(zǔ)值(zhí)變(biàn)化的(dí) 測(cè)量要求，通以在(zài)高溫(wēn) ，真空，氣氛(fēn)的(dí)條件下(xià)測量導(dǎo)電材料電阻和電(diàn)阻(zǔ)率(shuài)，可以(yǐ)分(fēn)析被(bèi)測樣的(dí)電(diàn)阻和電阻(zǔ)率隨溫度， 時(shí)間(jiān)變(biàn)化(huà)的曲 綫． 目前(qián)主要(yào)針對(duì)圓(yuán)片，方塊(kuài)，長(cháng)條(tiáo)等樣品進(jìn)行(háng)測試，可以(yǐ)廣(guǎng)泛用(yòng)於(yú)碳(tàn)係(xì)導(dǎo)電材(cái)料， 金(jīn)屬係導(dǎo)電材料， 金屬氧化物(wù)係導(dǎo)電材料，結 構型高分子(zǐ)導(dǎo)電(diàn)材料，復合(hé)導(dǎo)電材料等材料的電阻(zǔ)率測量。 過測控軟(ruǎn)件可以顯(xiǎn)示出溫(wēn)度(dù)與電阻(zǔ)，電阻(zǔ)率(shuài)，電導率(shuài)數(shù)據的(dí)變化曲 綫。

儀器(qì)特(tè)點：

1，可以測量高溫(wēn)，真(zhēn)空，氣氛下薄膜方塊(kuài)電阻和薄層電阻率(shuài)；

2，軟件(jiàn)，觸摸屏(píng)，高(gāo)溫爐(lú)等(děng)集(jí)成(chéng)於(yú)一體，可以進(jìn)行可視(shì)化(huà)操(cāo)作(zuò)；

3，可實現純(chún)淨氣氛條件(jiàn)下的測(cè)量；同時保(bǎo)證探(tàn)針(zhēn)在高(gāo)溫下不(bù)氧化；

4，采(cǎi)用labview軟件開(kāi)發，操(cāo)控(kòng)性，兼(jiān)容(róng)性好，方(fāng)便(biàn)升(shēng)級(jí)；

5，可自動(dòng)調(tiáo)節樣品(pǐn)測(cè)試電(diàn)壓(yā)，探針(zhēn)和(hé)薄膜接(jiē)觸閃絡現象(xiàng)；

6，控溫和測(cè)溫采(cǎi)用(yòng)同一個傳感(gǎn)器，保證(zhèng)樣品每次采集的溫度都是樣品實(shí)際溫度；

7，可配(pèi)套使(shǐ)用Keithley2400或(huò)2600數(shù)字多(duō)用(yòng)表；

特點(diǎn):

● 多(duō)級(jí)循(xún)環溫(wēn)度采集(jí)技術(shù)： 設備(bèi)采(cǎi)用PID算(suàn)法，以及(jí)多級循環(huán)溫度(dù)采集以保證(zhèng)溫度的有(yǒu)效值。控溫和(hé)測(cè)溫采(cǎi)用同一個(gè)傳(chuán)感器(qì)，保證樣品(pǐn)每次(cì)采(cǎi)集(jí)的(dí)溫度都(dū) 是樣(yàng)品實(shí)際(jì)溫度.

● 雙係統(tǒng)互鎖技術及(jí)隔(gé)離屏蔽技術(shù)： 本設(shè)備不僅具備(bèi)過壓(yā)，過流保(bǎo)護(hù)係統(tǒng)，雙(shuāng)係統(tǒng)互鎖機(jī)製，當任何(hé)元器件出現問題或單係統出現故障(zhàng)時，將瞬(shùn)間(jiān)切斷 電(diàn)源。采(cǎi)用低通(tōng)濾波(bō)電流檢測技術以保證(zhèng)采集電流的有效值 ，以及電流抗幹擾(rǎo)的屏(píng)蔽。

● SPWM電子(zǐ)升壓(yā)技(jì)術 目前設備(bèi)大都(dū)采用(yòng)SPWM電(diàn)子升壓技術(shù)，這(zhè)一技(jì)術具(jù)有(yǒu)升壓速(sù)度(dù)平(píng)穩，精(jīng)度(dù)高(gāo)。便(biàn)於維(wéi)護等優點是調壓(yā)器。