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簡要(yào)描(miáo)述(shù)：復(fù)合(hé)導電(diàn)材(cái)料高溫四(sì)探(tàn)針測試機(jī)Huace-600，該(gāi)係統可以測量矽，鍺單晶（棒(bàng)料(liào)，晶片(piàn)）電(diàn)阻率，測定(dìng)矽外(wài)延層，擴(kuò)散(sàn)層和離子注(zhù)入層(céng)的(dí)方(fāng)塊電阻 以(yǐ)及測量(liáng)導(dǎo)電(diàn)玻(bō)璃（ITO）和(hé)其它(tā)導電薄(báo)膜的(dí)方塊電(diàn)阻(zǔ)，該設(shè)備按(àn)照單晶(jīng)矽物理(lǐ)測試(shì)方法標準(zhǔn)設(shè)計的。
產品型號(hào)：Huace-600廠商性質(zhì)：生產廠家更(gēng)新時(shí)間(jiān)：2024-07-08訪(fǎng) 問(wèn) 量：2688產品(pǐn)分(fēn)類
Product Category相(xiāng)關文章
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| 品牌 | 華(huá)測儀器 | 電動機(jī)功率 | *kW |
|---|---|---|---|
| 外形尺寸 | 680X450X400mm | 重量(liáng) | 20kg |
| 應用(yòng)領(lǐng)域 | 化工,能(néng)源,電子(zǐ)/電池,電(diàn)氣,綜(zōng)合(hé) | 測量(liáng)溫(wēn)度(dù) | 室溫(wēn)---600°C? |
| 控(kòng)溫精度 | ±1℃? | 顯示精度 | ±0.1℃ |
| 樣(yàng)品 | 直徑15~30mm，厚(hòu)度小於4mm |
復合導電材料高溫四探(tàn)針測(cè)試(shì)機Huace-600
復合導電(diàn)材料高溫四探針測試(shì)機(jī)Huace-600概述：
●Huace-600高(gāo)溫四探(tàn)針(zhēn)測(cè)量係統(tǒng)，該(gāi)係(xì)統(tǒng)可以測量(liáng)矽，鍺(zhě)單(dān)晶(jīng)（棒料，晶片(piàn)）電阻(zǔ)率(shuài)，測定矽外延層，擴(kuò)散層和(hé)離子(zǐ)注(zhù)入層(céng)的(dí)方塊(kuài)電(diàn)阻 以及(jí)測(cè)量(liáng)導(dǎo)電玻璃（ITO）和(hé)其(qí)它導電(diàn)薄(báo)膜的(dí)方(fāng)塊電阻(zǔ)，該(gāi)設備(bèi)按照(zhào)單晶矽物(wù)理測(cè)試(shì)方法(fǎ)標(biāo)準(zhǔn)設計的。
●采用由四端測量方法(fǎ)測試(shì)電阻率係統(tǒng)與高(gāo)溫(wēn)試(shì)驗箱(xiāng)為(wéi)一體的的(dí)高(gāo)溫(wēn)測(cè)試(shì)係統(tǒng)，滿足半導體及導體材(cái)料因(yīn)溫度(dù)變化對電阻值變化的 測量(liáng)要求(qiú)，通以(yǐ)在(zài)高(gāo)溫(wēn) ，真(zhēn)空(kōng)，氣(qì)氛的(dí)條(tiáo)件(jiàn)下測(cè)量(liáng)導電材料電(diàn)阻和電阻(zǔ)率，可以分析被測(cè)樣的電阻和(hé)電阻率隨(suí)溫度(dù)， 時間(jiān)變(biàn)化的(dí)曲(qū) 綫(xiàn)． 目前主要(yào)針對圓(yuán)片，方塊(kuài)，長條等(děng)樣品進(jìn)行(háng)測試(shì)，可(kě)以(yǐ)廣泛(fàn)用於碳(tàn)係導(dǎo)電材(cái)料， 金屬係(xì)導電材料(liào)， 金屬氧化物係導電(diàn)材(cái)料，結 構型高分子導電材(cái)料，復(fù)合導(dǎo)電材料等(děng)材料(liào)的電阻率(shuài)測量。 過測控軟件可(kě)以顯(xiǎn)示出溫度與(yǔ)電(diàn)阻，電(diàn)阻(zǔ)率(shuài)，電(diàn)導率數據的(dí)變(biàn)化(huà)曲綫。
儀(yí)器(qì)特(tè)點：
1，可(kě)以測量高溫，真空(kōng)，氣(qì)氛下薄膜(mó)方塊電阻和(hé)薄層電阻率；
2，軟(ruǎn)件，觸摸(mō)屏(píng)，高溫爐等(děng)集成(chéng)於一(yī)體(tǐ)，可(kě)以(yǐ)進行可(kě)視(shì)化(huà)操(cāo)作；
3，可(kě)實現(xiàn)純淨氣(qì)氛(fēn)條件下(xià)的(dí)測量；同時保(bǎo)證探針在高(gāo)溫下不(bù)氧(yǎng)化；
4，采用(yòng)labview軟件開發，操控性，兼容性好(hǎo)，方(fāng)便升級；
5，可(kě)自動調(tiáo)節(jié)樣品測試電(diàn)壓，探針和薄(báo)膜(mó)接觸閃絡現象；
6，控溫和測(cè)溫采用(yòng)同一(yī)個(gè)傳(chuán)感器，保證(zhèng)樣(yàng)品每(měi)次采(cǎi)集的溫度都是樣品(pǐn)實(shí)際(jì)溫(wēn)度；
7，可(kě)配套(tào)使用Keithley2400或2600數(shù)字多用(yòng)表；
特(tè)點：
● 多級循(xún)環(huán)溫度采集技術： 設備采用PID算(suàn)法(fǎ)，以(yǐ)及多級循(xún)環溫度采(cǎi)集以保證(zhèng)溫度的(dí)有(yǒu)效值。控溫和(hé)測(cè)溫采(cǎi)用同一個(gè)傳感(gǎn)器，保(bǎo)證樣品(pǐn)每次(cì)采集(jí)的(dí)溫(wēn)度都(dū) 是樣品(pǐn)實(shí)際溫(wēn)度.
● 雙係統互鎖(suǒ)技術(shù)及(jí)隔(gé)離屏(píng)蔽技術(shù)： 本(běn)設(shè)備不(bù)僅(jǐn)具備(bèi)過(guò)壓(yā)，過流保(bǎo)護係統，它(tā)雙係統互鎖機製，當任(rèn)何元(yuán)器件(jiàn)出現(xiàn)問(wèn)題或單係統出現故障時，將瞬(shùn)間切(qiē)斷(duàn) 電源(yuán)。采(cǎi)用低通(tōng)濾波電流(liú)檢(jiǎn)測技術以(yǐ)保證(zhèng)采集(jí)電流的有效值(zhí) ，以及電流(liú)抗幹擾的屏蔽。
● SPWM電子升壓技術 目前設備大(dà)都(dū)采用SPWM電子(zǐ)升(shēng)壓技術，這(zhè)一技術(shù)具有(yǒu)升(shēng)壓速度平(píng)穩(wěn)，精度(dù)高(gāo)。便於(yú)維護等優點是調(tiáo)壓器(qì)。
技(jì)術(shù)參 數(shù) | ●測量溫度：室(shì)溫---600°C ; |
●控溫(wēn)精度：±1℃ ， | |
●顯示(shì)精(jīng)度：±0.1℃； | |
●升溫(wēn)斜率：1-5°C/min； | |
●測(cè)量(liáng)精度：0.05%； | |
●電阻率：10-5 ～105 Ω.cm ; | |
●電(diàn)導(dǎo)率：10-5 ～105 s/cm | |
●方塊(kuài)電(diàn)阻：10-4 ～106 Ω/□； | |
●電阻：10-5 ～105 Ω； | |
●探針間距：2±0.01mm； | |
●探(tàn)針(zhēn)壓力：0~2kg可調(tiáo)； | |
●針間絕(jué)緣(yuán)電(diàn)阻(zǔ)：≥1000MΩ； | |
●真(zhēn)空腔體漏率(shuài)標準(zhǔn)要小(xiǎo)於10-9 Pa?m3/s ; | |
●樣品(pǐn)：直(zhí)徑(jìng)15~30mm，厚度小於(yú)4mm； | |
●設(shè)備尺寸：680mmX450mmX400mm |
產(chǎn)品(pǐn)咨詢(xún)
地址：北(běi)京海澱區
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