半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)封裝材料真空探針測(cè)試

半導(dǎo)體(tǐ)封裝(zhuāng)材(cái)料真(zhēn)空探針(zhēn)測試(shì)產品參數(shù)
：

腔(qiāng)體

樣(yàng)品(pǐn)台尺寸
：2英寸

樣品(pǐn)固定
：樣品固定(dìng)

觀察窗(chuāng)口(kǒu)
：2英(yīng)寸

真(zhēn)空度(dù)
：10-6 torr

探針臂接(jiē)口
：最多(duō)6個探(tàn)針(zhēn)臂接口

其(qí)他接口(kǒu)
：電信(xìn)接口(kǒu)，真空(kōng)接(jiē)口，光(guāng)纖接口(kǒu)，冷(lěng)源(yuán)接口(kǒu)

製冷方(fāng)式(shì)
：液氮(dàn) / 液氦(hài)

控(kòng)製方式
：開循環(huán)手動

溫(wēn)度範(fàn)圍(wéi)
：77K ~ 450K / 4.5K ~ 450K

溫度(dù)分(fēn)辨率
：0.1K / 0.01K / 0.001K

穩(wěn)定性
：±1K / ±0.1K / ±0.01K

顯(xiǎn)微鏡(jìng)

X-Y-Z 移動行(háng)程(chéng)
：50mm×25mm×13mm

結(jié)構
：外(wài)置探針(zhēn)臂，真空波紋(wén)管結構(gòu)

移動精(jīng)度
：10μm / 1μm

光(guāng)源(yuán)
：外置LED環形(xíng)光源(yuán) / 同(tóng)軸光(guāng)源

CCD
：200萬像素(sù) / 500萬像(xiàng)素(sù) / 1200萬像素

探針座

X-Y-Z 移(yí)動(dòng)行(háng)程
：X-Y-Z 移動行(háng)程

結(jié)構
：外(wài)置探(tàn)針臂(bì)，真(zhēn)空波(bō)紋管結(jié)構

移動精度
：10μm / 1μm

探針夾(jiā)具

綫(xiàn)纜
：同軸(zhóu)綫 / 三軸(zhóu)綫 / 射(shè)頻綫(xiàn)

漏(lòu)電(diàn)精度
：10pA / 100fA / 10fA

固定探針(zhēn)
：彈(dàn)簧固定 / 螺(luó)絲(sī)固(gù)定

接頭(tóu)類型
：BNC / 三(sān)軸 / 香蕉(jiāo)頭 / 鱷魚夾 / 接綫端子(zǐ)/ 射(shè)頻接口

探針

射(shè)頻支持(chí)
：DC-67GHZ

針(zhēn)尖(jiān)直徑(jìng)
：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材(cái)質
：鎢(wū)鋼 / 鈹銅

真(zhēn)空(kōng)組(zǔ)件(jiàn)
：分(fēn)子泵(bèng)組 / 機械泵

冷源組件(jiàn)
：50L / 100L 液(yè)氮(dàn)罐 / 液氦罐(guàn) / 製(zhì)冷(lěng)機(jī)

外形(xíng)重(zhòng)量
：730mm×750mm×1265mm（長(cháng)寬高(gāo)）      約100kg

防(fáng)震桌參數
：

氣浮隔(gé)振防震桌(zhuō)

隔振方(fāng)式:隔振方式

材質(zhì):不鏽(xiù)鋼(gāng) / 碳鋼

平麵(miàn)度(dù):0.05mm / m2

粗糙(cāo)度(dù):＜0.8μm

孔(kǒng)距(jù):25×25mm

孔(kǒng)徑:M6

平(píng)台尺寸(cùn)（長寬(kuān)):可(kě)定(dìng)製(zhì)

平台(tái)厚度
：50 / 100 / 200mm

固(gù)有(yǒu)頻(pín)率:.5Hz - 2Hz

支撐腿(tuǐ):氣(qì)浮(fú)支撐(chēng)腿

支撐腿(tuǐ)數量:4個 / 6個

支撐腿高度:800mm±10mm

其(qí)他(tā):內芯采(cǎi)用蜂(fēng)窩支撐(chēng)，表麵密(mì)迪紋(wén)處(chǔ)理，支(zhī)撐(chēng)腳可選(xuǎn)腳(jiǎo)輪，特殊尺寸可(kě)定製(zhì)

產品(pǐn)參數
：

腔(qiāng)體(tǐ)

樣(yàng)品台尺寸(cùn)
：4英寸

樣品固定(dìng)
：樣品(pǐn)固(gù)定(dìng)

觀(guān)察窗(chuāng)口
：4英寸(cùn)

真空度
：10-6 torr

探(tàn)針臂(bì)接(jiē)口(kǒu)
：最(zuì)多(duō)6個(gè)探針(zhēn)臂接(jiē)口

其他接口(kǒu)
：電(diàn)信(xìn)接口，真(zhēn)空接(jiē)口，光(guāng)纖接口(kǒu)，冷(lěng)源接口

製冷方式(shì)
：製(zhì)冷(lěng)機

控製(zhì)方(fāng)式
：閉循環(huán)自動控(kòng)製

溫度範圍
：4.5K ~ 450K

溫度分(fēn)辨率
：0.1K / 0.01K / 0.001K

穩(wěn)定性(xìng)
：±1K / ±0.1K / ±0.01K

顯微鏡

X-Y-Z 移(yí)動行程(chéng)
：50mm×25mm×13mm

結(jié)構
：外(wài)置探針臂(bì)，真空(kōng)波紋(wén)管(guǎn)結(jié)構

移動精(jīng)度(dù)
：10μm / 1μm

光(guāng)源
：外置(zhì)LED環(huán)形光(guāng)源 / 同軸光(guāng)源

CCD
：200萬像(xiàng)素(sù) / 500萬像素 / 1200萬像素

探針座(zuò)

X-Y-Z 移動行(háng)程
：X-Y-Z 移動(dòng)行(háng)程

結構
：外(wài)置探(tàn)針(zhēn)臂，真(zhēn)空(kōng)波紋管結構(gòu)

移動精度
：10μm / 1μm

探針夾(jiā)具(jù)

綫(xiàn)纜(lǎn)
：同軸綫 / 三(sān)軸綫 / 射(shè)頻(pín)綫(xiàn)

漏(lòu)電精(jīng)度
：10pA / 100fA / 10fA

固定(dìng)探(tàn)針
：彈簧(huáng)固(gù)定 / 螺絲固(gù)定

接頭(tóu)類(lèi)型(xíng)
：BNC / 三(sān)軸 / 香蕉頭 / 鱷魚夾(jiā) / 接綫端子(zǐ)/ 射頻接(jiē)口

探(tàn)針(zhēn)

射頻支(zhī)持
：DC-67GHZ

針尖(jiān)直(zhí)徑
：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材質(zhì)
：鎢鋼 / 鈹(pí)銅

真(zhēn)空組件
：分子泵組(zǔ) / 機械泵

冷源(yuán)組(zǔ)件(jiàn)
：50L / 100L 液氮(dàn)罐 / 液氦(hài)罐(guàn) / 製冷機(jī)

外(wài)形(xíng)重量
：730mm×750mm×1265mm（長(cháng)寬(kuān)高(gāo)）      約100kg

防震(zhèn)桌(zhuō)參(cān)數
：

阻尼隔振防(fáng)震桌

隔振方(fāng)式(shì):高(gāo)級(jí)復(fù)合材(cái)料隔振

材(cái)質(zhì):不鏽(xiù)鋼 / 碳鋼

平麵(miàn)度(dù):0.05mm / m2

粗糙度(dù):＜0.8μm

孔距(jù):25×25mm

孔徑(jìng):M6

平(píng)台尺寸（長寬):可定製

平台厚(hòu)度(dù)
：50 / 100 / 200mm

固有(yǒu)頻(pín)率(shuài):6Hz - 8Hz

支(zhī)撐腿:阻(zǔ)尼支撐腿(tuǐ)

支(zhī)撐腿(tuǐ)數(shù)量(liáng):4個(gè) / 6個(gè)

支撐(chēng)腿高度:800mm±10mm

其他:內芯(xīn)采用蜂(fēng)窩支撐，表麵密(mì)迪紋(wén)處理(lǐ)，支撐(chēng)腳(jiǎo)可選腳(jiǎo)輪(lún)，特殊尺寸(cùn)可定(dìng)製(zhì)

真空探(tàn)針(zhēn)台(tái) 外(wài)置(zhì)探針臂(bì)