





簡要描(miáo)述(shù):半導(dǎo)體封(fēng)裝材(cái)料4英寸真空(kōng)探針台帶顯(xiǎn)微鏡是一(yī)種能夠(gòu)在(zài)高(gāo)真空環(huán)境下進(jìn)行(háng)精(jīng)確(què)測量和(hé)實(shí)驗的(dí)設(shè)備。其(qí)基本(běn)原(yuán)理(lǐ)是利用(yòng)真空環境(jìng)下(xià)的物(wù)理(lǐ)現(xiàn)象和(hé)特性,對(duì)樣品進行各種(zhǒng)實驗(yàn)和測(cè)量。在高真空環境(jìng)中,氣體分子很少,這有(yǒu)助(zhù)於(yú)減少(shǎo)空氣(qì)阻力(lì),空(kōng)氣(qì)振動和其他幹擾因素,從(cóng)而獲得較(jiào)為準確和(hé)可(kě)靠(kào)的實(shí)驗(yàn)數據。
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| 品牌 | 華測儀(yí)器 | 應(yīng)用領域 | 化(huà)工,能(néng)源(yuán),電子/電池(chí),電氣,綜合(hé) |
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半導體(tǐ)封裝材(cái)料(liào)4英(yīng)寸(cùn)真(zhēn)空探(tàn)針(zhēn)台(tái)帶(dài)顯微(wēi)鏡(jìng)

半導體封裝材料(liào)4英寸真(zhēn)空(kōng)探(tàn)針台帶顯(xiǎn)微(wēi)鏡產(chǎn)品參數:
腔(qiāng)體
型號:CGO-4
樣(yàng)品台(tái)尺寸:4英寸
樣品固(gù)定:樣品(pǐn)固(gù)定(dìng)
觀察窗(chuāng)口(kǒu):4英寸(cùn)
真空(kōng)度:10-6 torr
探針臂接口:最多(duō)6個探針(zhēn)臂接(jiē)口(kǒu)
其他接(jiē)口:電(diàn)信(xìn)接口,真空接口,光纖(xiān)接口,冷源(yuán)接口
製(zhì)冷方(fāng)式:製冷(lěng)機
控(kòng)製方式:閉(bì)循環自(zì)動控製
溫(wēn)度(dù)範圍(wéi):4.5K ~ 450K
溫度分辨率:0.1K / 0.01K / 0.001K
穩定(dìng)性:±1K / ±0.1K / ±0.01K
顯(xiǎn)微(wēi)鏡(jìng)
X-Y-Z 移(yí)動(dòng)行程:50mm×25mm×13mm
結(jié)構:外(wài)置(zhì)探(tàn)針臂,真(zhēn)空波紋(wén)管結構
移(yí)動(dòng)精度:10μm / 1μm
光(guāng)源:外(wài)置(zhì)LED環形(xíng)光(guāng)源 / 同軸(zhóu)光(guāng)源
CCD:200萬像素(sù) / 500萬像素 / 1200萬像(xiàng)素
探針座(zuò)
X-Y-Z 移(yí)動行程:X-Y-Z 移(yí)動行(háng)程
結構:外置探(tàn)針(zhēn)臂,真空(kōng)波(bō)紋管結(jié)構(gòu)
移動精(jīng)度(dù):10μm / 1μm
探針(zhēn)夾(jiā)具
綫纜(lǎn):同軸(zhóu)綫(xiàn) / 三(sān)軸綫 / 射(shè)頻(pín)綫
漏電(diàn)精度:10pA / 100fA / 10fA
固(gù)定(dìng)探(tàn)針:彈簧固定 / 螺絲固定
接頭類型:BNC / 三軸(zhóu) / 香(xiāng)蕉(jiāo)頭 / 鱷(è)魚夾 / 接(jiē)綫(xiàn)端子(zǐ)/ 射頻(pín)接口(kǒu)
探(tàn)針
射頻支持:DC-67GHZ
針尖(jiān)直徑:0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm
材質(zhì):鎢鋼 / 鈹銅(tóng)
真空(kōng)組件:分(fēn)子(zǐ)泵組 / 機(jī)械(xiè)泵
冷(lěng)源組件:50L / 100L 液(yè)氮(dàn)罐(guàn) / 液(yè)氦(hài)罐 / 製冷(lěng)機
外(wài)形(xíng)重量:730mm×750mm×1265mm(長(cháng)寬高) 約100kg
防震桌參(cān)數:
阻尼(ní)隔(gé)振(zhèn)防(fáng)震桌
隔振方(fāng)式:高級(jí)復合材(cái)料(liào)隔振(zhèn)
材質(zhì):不鏽鋼 / 碳(tàn)鋼
平麵(miàn)度(dù):0.05mm / m2
粗(cū)糙度:<0.8μm
孔(kǒng)距(jù):25×25mm
孔(kǒng)徑:M6
平台尺寸(cùn)(長(cháng)寬(kuān)):可(kě)定(dìng)製
平台厚度:50 / 100 / 200mm
固(gù)有(yǒu)頻率(shuài):6Hz - 8Hz
支(zhī)撐(chēng)腿:阻尼支撐(chēng)腿
支撐腿(tuǐ)數量(liáng):4個(gè) / 6個(gè)
支撐(chēng)腿高度:800mm±10mm
其他:內芯(xīn)采(cǎi)用蜂窩支撐,表麵密迪紋(wén)處(chǔ)理,支撐腳(jiǎo)可選腳(jiǎo)輪(lún),特殊(shū)尺寸可定(dìng)製

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