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真(zhēn)空(kōng)晶圓退(tuì)火(huǒ)爐

簡要描述(shù):華(huá)測(cè)儀(yí)器Huace-800G真空晶(jīng)圓退火爐是在真空環境下(xià),對半(bàn)導體(tǐ)晶圓進(jìn)行高溫熱處(chǔ)理的(dí)設備,主(zhǔ)要(yào)用於(yú)消除應力(lì),優(yōu)化材(cái)料結構,增加(jiā)電學(xué)性(xìng)能(néng)。

  • 產品型(xíng)號(hào):Huace-800G
  • 廠(chǎng)商性(xìng)質:生(shēng)產(chǎn)廠家
  • 更(gēng)新時(shí)間:2026-04-02
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量(liáng):547

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詳細介紹(shào)

品牌華測儀(yí)器產地類別國產(chǎn)
應用(yòng)領域(yù)能(néng)源,航空航天(tiān),汽車及零部件(jiàn),電氣(qì),綜(zōng)合

華測儀器Huace-800G真(zhēn)空晶圓(yuán)退火(huǒ)爐(lú)

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Huace-800G真空晶圓退(tuì)火(huǒ)爐由華測儀器(qì)生產,推(tuī)出(chū)了采用高(gāo)準(zhǔn)度,高反(fǎn)射(shè)率拋(pāo)物(wù)麵(miàn)搭配高性(xìng)能(néng)加(jiā)熱源的解決方案,在升降溫過(guò)程中(zhōng)仍(réng)能保(bǎo)持(chí)穩定均匀(yún)的溫度(dù)場(cháng),可(kě)實現寬(kuān)範圍均熱區(qū),高速(sù)加(jiā)熱(rè)與高(gāo)速(sù)降溫(wēn)。樣(yàng)品(pǐn)由(yóu)石英管(guǎn)保護,無(wú)氣氛(fēn)汙(wū)染(rǎn),更(gēng)適(shì)合半(bàn)導(dǎo)體工(gōng)藝(yì)使(shǐ)用(yòng)。設備的反(fǎn)射鏡采用高(gāo)準度曲(qū)率(shuài)設(shè)計(jì),通(tōng)過(guò)五軸(zhóu)加工(gōng)係統(tǒng)製(zhì)造(zào),以維持更高的反(fǎn)射效率。反射鏡主(zhǔ)要分(fēn)為(wéi)圓形(xíng)和(hé)拋物綫型兩種(zhǒng),可(kě)滿足不同材料在不(bù)同(tóng)溫度控製條件下的測(cè)試(shì)需(xū)求(qiú)。


產(chǎn)品參數(shù)

產品(pǐn)型(xíng)號:Huace-800G/Huace-1200G/Huace-1450G

產(chǎn)品尺寸:6寸晶圓或150 x 150mm產品

溫度(dù)範(fàn)圍:RT ~ 800/1200/1450°C

升溫(wēn)速度:<100℃/s可編程(此(cǐ)溫(wēn)度不(bù)含(hán)載(zǎi)盤的升溫速(sù)度)

                  <25℃/s(SiC載盤)

溫度均(jūn)匀度:±5 °C ≤ 500 ℃

±1 % > 500 ℃

溫度控(kòng)製重(zhòng)復性:±1 °C

溫(wēn)控方式:PID 溫控(kòng)


應用(yòng)領域(yù)

電(diàn)子(zǐ)材(cái)料

半(bàn)導體(tǐ)用矽(guī)化合(hé)化(huà)的(dí)PRA(加熱後急(jí)速降溫)

陶(táo)瓷與無機(jī)材料(liào)

半導體(tǐ)用矽化合化的PRA(加熱(rè)後急速(sù)降(jiàng)溫)

鋼鐵和金(jīn)屬(shǔ)材(cái)料

薄鋼板加熱(rè)過程(chéng)的數值模擬

其他

高溫拉伸壓縮試驗(yàn)爐


真空(kōng)晶(jīng)圓退火(huǒ)爐


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