設備(bèi)原(yuán)理(lǐ)：

1. 輻射加(jiā)熱(rè)

紅外鍍金聚焦爐(lú)是利用(yòng)高能量密度的紅外光源作為加(jiā)熱源的(dí)輻射加(jiā)熱(rè)爐
。爐(lú)體由鋁合(hé)金(jīn)製(zhì)成(chéng)，紅(hóng)外(wài)綫反射麵拋(pāo)光，鍍金，反高(gāo)光
。同時(shí)配置(zhì)水(shuǐ)冷裝(zhuāng)置
。

2. 紅(hóng)外(wài)綫(xiàn)燈(dēng)

紅外鍍金聚焦爐(lú)是利用高能量密(mì)度(dù)的(dí)紅外光(guāng)源作為(wéi)加熱源(yuán)的輻(fú)射加熱爐
。爐(lú)體由(yóu)鋁合(hé)金(jīn)製成，紅(hóng)外(wài)綫反射麵拋(pāo)光(guāng)，鍍(dù)金，反高光
。同時(shí)配置(zhì)水冷(lěng)裝置
。

3. 反射光(guāng)

反射鏡是用曲率(shuài)加工(gōng)以(yǐ)提高反射率(shuài)
。反(fǎn)射鏡有兩種類(lèi)型，一(yī)種(zhǒng)是橢(tuǒ)圓(yuán)形的(dí)，另一(yī)種(zhǒng)是(shì)拋物綫(xiàn)型(xíng)的(dí)，該(gāi)模型rhl-e和vht-e係列有(yǒu)一(yī)個橢圓(yuán)形(xíng)反射(shè)器(qì)和(hé)適合的棒(bàng)狀樣(yàng)品加(jiā)熱，和(hé)其(qí)他模型：rhl-p,RHL PS和RHL PSS係列具有(yǒu)拋物綫型反射器和(hé)適用於片(piàn)狀樣品
。

設(shè)備(bèi)特點

1. 高速(sù)加熱與冷卻方式

高能(néng)量(liáng)的紅外燈和鍍金反射(shè)鏡允(yǔn)許(xǔ)高速加(jiā)熱(rè)到(dào)高溫
。同時體(tǐ)可配(pèi)置水(shuǐ)冷，增(zēng)設氣(qì)體(tǐ)冷卻裝置(zhì)，可實現快(kuài)速(sù)冷卻(què)
。

2. 溫(wēn)度控(kòng)製

通過紅外(wài)鍍金聚(jù)焦和(hé)溫度控(kòng)製(zhì)器的組合使用，可以控製(zhì)樣(yàng)品的溫度
。此(cǐ)外(wài)，冷卻速度(dù)和保(bǎo)持(chí)在任(rèn)何溫度下可提(tí)供
。

3. 清潔(jié)加熱

反射鏡是用(yòng)曲率加工以提(tí)高反(fǎn)射率
。反(fǎn)射(shè)鏡有(yǒu)兩(liǎng)種類型，一種(zhǒng)是(shì)橢(tuǒ)圓形的，另(lìng)一種是拋物(wù)綫(xiàn)型的(dí)，該(gāi)模型rhl-e和(hé)vht-e係列(liè)有一個(gè)橢圓(yuán)形(xíng)反(fǎn)射(shè)器(qì)和(hé)適合的(dí)棒狀樣品加熱(rè)，和其他模型：rhl-p,RHL PS和RHL PSS

4. 不(bù)同環(huán)境(jìng)下的加熱與冷(lěng)卻(què)

北京華測(cè) 高真(zhēn)空退火爐(lú)加熱/冷卻可(kě)用(yòng)真空，氣(qì)氛環境(jìng)，低溫(wēn)（高純度惰性氣(qì)體靜態或流動），操作(zuò)簡單，使用石英(yīng)玻(bō)璃(lí)製成
。紅外綫(xiàn)可(kě)傳送(sòng)到加熱(rè)/冷(lěng)卻(què)室(shì)
。

設備(bèi)結構：

結(jié)構(gòu):

溫(wēn)控係(xì)統(tǒng)：設備采用PID溫(wēn)度控製，同(tóng)時采用(yòng)移相觸發技術(shù)保證試(shì)驗(yàn)溫(wēn)度(dù)，確保±1℃的均匀性，多(duō)區獨立控溫補償邊(biān)緣熱(rè)損(sǔn)失；

• 根據設備(bèi)上(shàng)的(dí)溫(wēn)度(dù)控製器(qì)輸(shū)入(rù)參(cān)數(shù)，您(nín)也(yě)可以簡單輸入溫度(dù)程序(xù)設(shè)定和外(wài)部(bù)信號
。另外(wài)還(huán)可以在(zài)電腦上顯示熱中(zhōng)的溫(wēn)度數據(jù)；

• 自(zì)適(shì)應熱電偶包括JS，K，J，T，E，N，R，S，B，以(yǐ)及(jí)L，U，W型；

• 最大可設(shè)定(dìng)32個程(chéng)序，256個步驟的程(chéng)序(xù)；
• 30A，60A，120A內(nèi)置(zhì)了(liǎo)SCR電路(lù)，所(suǒ)以(yǐ)範(fàn)圍很(hěn)廣
。
• 腔體設(shè)計： 石(shí)英(yīng)或(huò)碳化(huà)矽(guī)材(cái)質(zhì)，耐高溫(wēn)且(qiě)低汙染，晶圓通過自動(dòng)傳輸(shū)係統進(jìn)出，減(jiǎn)少人為(wéi)幹擾(rǎo)；
• 進(jìn)口幹泵： 抽速(sù)>120L/min，極限(xiàn)真空度≤4pa，噪(zào)音小於(yú) 52db；

• 進(jìn)口(kǒu)全(quán)量(liáng)程真(zhēn)空(kōng)規(guī)：刀(dāo)口(kǒu)法(fǎ)蘭接口(kǒu)，真空測量(liáng)範(fàn)圍 5×10^-7 Pa 到(dào) 1atm
。

技術規格:

產品型號：Huace-800G/1200G/1450G
最大(dà)產(chǎn)品尺(chǐ)寸(cùn)：6 寸(cùn)晶圓或者(zhě)最大(dà)支持150 x 150mm產(chǎn)品
溫(wēn)度範(fàn)圍：室(shì)溫 ~ 1250 °C
最高升(shēng)溫速度(dù)：<100 ℃ /s 可編程（此溫(wēn)度為不含載(zǎi)盤的升溫(wēn)速度）< 25 ℃ /s（SiC 載盤）
溫度(dù)均匀度：±5 °C ≤ 500 ℃ ±1 % > 500 ℃
溫度(dù)控(kòng)製重(zhòng)復性(xìng)：±1 °C
溫(wēn)控方式：快(kuài)速(sù) PID 溫控(kòng)