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簡要(yào)描(miáo)述：華(huá)測半(bàn)導體封(fēng)裝材(cái)料高(gāo)低溫真(zhēn)空探(tàn)針台(tái)，溫度範圍77K-675K(液氮(dàn))；可(kě)應用於真空及(jí)常規(guī)環(huán)境；超(chāo)高(gāo)溫度(dù)分(fēn)辨(biàn)率(shuài)；特殊客(kè)製(zhì)低溫係(xì)統；具(jù)有較好(hǎo)穩(wěn)定(dìng)性(xìng)
產品型號：廠商(shāng)性質：生(shēng)產(chǎn)廠(chǎng)家(jiā)更新時間：2024-12-12訪 問(wèn) 量：2991產品分類
Product Category詳細介(jiè)紹
| 品牌(pái) | 華測儀器(qì) | 產(chǎn)地(dì)類(lèi)別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用(yòng)領域 | 化工,能源,電子(zǐ)/電池(chí),電(diàn)氣,綜合 |
Huace HT-11高低溫真空探針台
華測半(bàn)導體封裝材(cái)料高(gāo)低溫真空(kōng)探針台(tái)
華測半導(dǎo)體封裝(zhuāng)材(cái)料高低溫真空探針台(tái)特點/應用
◆ 2至(zhì)6英(yīng)寸樣品(pǐn)台
◆ 高真空腔體
◆ 防輻(fú)射(shè)屏設計，樣(yàng)品(pǐn)溫度均匀(yún)性(xìng)更好
◆ 77K-675K高(gāo)低溫(wēn)環境(jìng)
◆ 兼(jiān)容IV/CV/RF測(cè)試(shì)
◆ 外置多(duō)探(tàn)針臂，移動行程大
◆ 經濟(jì)實(shí)用(yòng)，可(kě)無縫升級
華測半導體(tǐ)封裝材(cái)料高低(dī)溫(wēn)真空(kōng)探針台極低溫測(cè)試(shì):
因為晶(jīng)圓在低溫大(dà)氣環(huán)境(jìng)測試時(shí)，空氣(qì)中(zhōng)的(dí)水(shuǐ)汽會(huì)凝結(jié)在(zài)晶圓(yuán)上(shàng)，會導(dǎo)致漏電過(guò)大或(huò)者探針(zhēn)無法接觸電(diàn)極(jí)而使(shǐ)測(cè)試(shì)失(shī)敗。避免這些(xiē)需要(yào)把(bǎ)真空(kōng)腔(qiāng)內的水汽在(zài)測試前(qián)用(yòng)泵抽走，並且(qiě)保(bǎo)持整(zhěng)個測試過(guò)程泵(bèng)的運轉(zhuǎn)。
高溫(wēn)無氧(yǎng)化測(cè)試(shì)：
當晶圓加(jiā)熱(rè)至300℃,400℃,500℃甚至(zhì)更高(gāo)溫(wēn)度時(shí)，氧化現(xiàn)象會越(yuè)來越明(míng)顯，並且溫(wēn)度(dù)越(yuè)高氧化(huà)越嚴(yán)重。過(guò)度氧(yǎng)化(huà)會導(dǎo)致晶(jīng)圓(yuán)電性誤(wù)差，物理和機(jī)械(xiè)形變。避免這些需(xū)要把真空腔內的氧氣在(zài)測試(shì)前用泵(bèng)抽走，並且(qiě)保(bǎo)持(chí)整個測(cè)試過程泵的運轉。
晶圓測試過程(chéng)中溫(wēn)度(dù)在(zài)低(dī)溫(wēn)和高(gāo)溫(wēn)中(zhōng)變(biàn)換(huàn)，因(yīn)為(wéi)熱脹冷(lěng)縮現(xiàn)象(xiàng)，定位好的(dí)探針(zhēn)與器(qì)件電極間會(huì)有(yǒu)相對位移，這時需(xū)要(yào)針座(zuò)的重(zhòng)新定(dìng)位(wèi)，針座位(wèi)於(yú)腔(qiāng)體(tǐ)外部。我們(mén)也(yě)可以(yǐ)選(xuǎn)擇(zé)使用(yòng)操(cāo)作杆控製(zhì)的(dí)自(zì)動化針(zhēn)座來(lái)調(tiáo)整探針的(dí)位置。
華測(cè)半導體封裝(zhuāng)材料高(gāo)低溫真空探針(zhēn)台(tái)技術(shù)參數(shù)：
腔體規格(gé) | |
樣(yàng)品台尺(chǐ)寸(cùn) | 2英寸(cùn)/4英寸(cùn)/6英寸(cùn) |
樣品(pǐn)固(gù)定(dìng) | 彈(dàn)簧壓片 |
觀(guān)察(chá)窗口(kǒu) | 2英寸/4英(yīng)寸/6英(yīng)寸(cùn) |
真(zhēn)空(kōng)度 | 10-6torr |
探(tàn)針臂接口 | 4~6個(gè)探(tàn)針(zhēn)臂(bì)接口 |
其他接口 | 電信(xìn)接口(kǒu)，真(zhēn)空(kōng)接(jiē)口，光(guāng)纖(xiān)接口(kǒu)，冷源(yuán)接口(kǒu) |
製(zhì)冷(lěng)方式 | 液氮/液氦/製(zhì)冷(lěng)機 |
溫(wēn)度範圍 | 77K到573K/4.5K到573K |
溫(wēn)控精(jīng)度 | 0.1K/0.01K/0.001K |
穩(wěn)定(dìng)性(xìng) | ±1K/±0.1K/±0.01K外(wài)形(xíng) |
外形(xíng) | 880mm長*880mm寬(kuān)*600mm高(gāo)/980mm長*980mm寬*600mm高 |
重(zhòng)量 | 約(yuē)20KG/30KG |
光(guāng)學係統(tǒng) | |
顯(xiǎn)微鏡(jìng)類型(xíng) | 單筒顯微鏡(jìng)/體式顯(xiǎn)微鏡(jìng)/金相顯微鏡(jìng) |
放(fàng)大(dà)倍(bèi)率(shuài) | 16X-200X/20X-4000X |
移(yí)動行程 | 水平360度旋(xuán)轉，Z軸行(háng)程50.8mm |
光源 | 外置(zhì)LED環(huán)形(xíng)光源/同軸光源(yuán) |
CCD | 200萬像(xiàng)素/500萬像素(sù)/1200萬像(xiàng)素(sù) |
探(tàn)針臂(bì) | |
X-Y-Z移動行程 | 50mm*50mm*50mm |
結構(gòu) | 外置(zhì)探(tàn)針臂(bì)，真(zhēn)空(kōng)波(bō)紋(wén)管結構 |
移(yí)動(dòng)精度(dù) | 10微米/1微(wēi)米 |
綫纜(lǎn) | 同軸綫/三軸(zhóu)綫/射頻綫 |
漏電精度(dù) | 10pA/100fA/10fA |
固定(dìng)探針(zhēn) | 彈(dàn)簧固定/管狀(zhuàng)固(gù)定 |
接頭類型(xíng) | BNC/三軸/香(xiāng)蕉(jiāo)頭(tóu)/鱷魚夾(jiā)/接(jiē)綫端子 |
頻率(shuài)支持(chí) | DC-67GHZ |
針(zhēn)尖直(zhí)徑(jìng) | 0.5微米(mǐ)/1微米/2微米/5微米(mǐ)/10微(wēi)米/20微(wēi)米 |
其他(tā)組(zǔ)件 | |
真(zhēn)空(kōng)組(zǔ)件(jiàn) | 分(fēn)子泵組/機械(xiè)泵/離子(zǐ)泵 |
冷源組件 | 50L/100L液氮罐/液氦罐/製冷(lěng)機(jī) |
可選(xuǎn)附(fù)件：
超(chāo)高(gāo)溫(wēn)配件(jiàn)；
顯示器(qì)；
轉接頭(tóu)；
射(shè)頻測(cè)試(shì)配件(jiàn)；
屏蔽箱；
光學平(píng)台；
鍍金卡(qiǎ)盤(pán)；
光電測(cè)試(shì)配件(jiàn)；
高壓(yā)測試配件；
分(fēn)子(zǐ)泵(bèng)組(zǔ)；
激光係統(tǒng)；
氣敏測試配(pèi)件；
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