華(huá)測半導體封裝材料真(zhēn)空探(tàn)針(zhēn)台(tái)

真空(kōng)探(tàn)針台(tái)產品(pǐn)參(cān)數(shù)：

腔體

樣品(pǐn)台尺寸(cùn)：2英寸

樣品固(gù)定：樣(yàng)品固(gù)定

觀察(chá)窗(chuāng)口：2英(yīng)寸(cùn)

真(zhēn)空度(dù)：10-6 torr

探(tàn)針臂(bì)接口：最多(duō)6個(gè)探針臂(bì)接口(kǒu)

其他接口(kǒu)：電(diàn)信接(jiē)口，真空接口，光(guāng)纖接口(kǒu)，冷源接口

製(zhì)冷(lěng)方式：液氮(dàn) / 液氦

控製(zhì)方(fāng)式(shì)：開循環手動(dòng)

溫度範圍：77K ~ 450K / 4.5K ~ 450K

溫(wēn)度(dù)分辨率(shuài)：0.1K / 0.01K / 0.001K

穩定性(xìng)：±1K / ±0.1K / ±0.01K

顯微鏡(jìng)

X-Y-Z 移動(dòng)行程：50mm×25mm×13mm

結(jié)構：外置探針臂(bì)，真空(kōng)波紋管(guǎn)結構(gòu)

移(yí)動精度：10μm / 1μm

光(guāng)源：外(wài)置(zhì)LED環(huán)形(xíng)光(guāng)源(yuán) / 同軸(zhóu)光(guāng)源

CCD：200萬像素 / 500萬像(xiàng)素 / 1200萬像素(sù)

探針座

X-Y-Z 移動行(háng)程：X-Y-Z 移動行(háng)程

結構：外(wài)置探(tàn)針(zhēn)臂(bì)，真空(kōng)波(bō)紋管結(jié)構

移動(dòng)精(jīng)度：10μm / 1μm

探針夾具

綫纜(lǎn)：同(tóng)軸綫 / 三軸(zhóu)綫 / 射頻綫

漏電精度：10pA / 100fA / 10fA

固(gù)定探針：彈(dàn)簧(huáng)固定 / 螺(luó)絲(sī)固定

接頭類(lèi)型：BNC / 三軸 / 香(xiāng)蕉(jiāo)頭(tóu) / 鱷魚夾(jiā) / 接綫端(duān)子/ 射頻接(jiē)口(kǒu)

探(tàn)針

射(shè)頻(pín)支持：DC-67GHZ

針(zhēn)尖直(zhí)徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材質(zhì)：鎢(wū)鋼(gāng) / 鈹銅

真空組件：分(fēn)子泵(bèng)組(zǔ) / 機(jī)械(xiè)泵(bèng)

冷(lěng)源組件(jiàn)：50L / 100L 液氮(dàn)罐(guàn) / 液氦(hài)罐 / 製(zhì)冷機

外(wài)形(xíng)重量：730mm×750mm×1265mm（長(cháng)寬高）      約100kg

防震(zhèn)桌參(cān)數：

氣(qì)浮隔振(zhèn)防(fáng)震桌(zhuō)

隔(gé)振方式:隔振方式(shì)

材(cái)質(zhì):不鏽(xiù)鋼 / 碳鋼

平麵度:0.05mm / m2

粗糙(cāo)度:＜0.8μm

孔距(jù):25×25mm

孔(kǒng)徑(jìng):M6

平(píng)台尺寸(cùn)（長寬(kuān)):可(kě)定(dìng)製(zhì)

平台厚度：50 / 100 / 200mm

固(gù)有(yǒu)頻(pín)率(shuài):.5Hz - 2Hz

支(zhī)撐腿:氣(qì)浮支(zhī)撐腿(tuǐ)

支撐腿數(shù)量(liáng):4個 / 6個

支撐腿高度:800mm±10mm

其他(tā):內芯采用蜂窩(wō)支撐，表麵(miàn)密迪紋(wén)處理(lǐ)，支(zhī)撐腳可選(xuǎn)腳(jiǎo)輪(lún)，特(tè)殊尺寸可定製

產品參(cān)數(shù)：

腔(qiāng)體

樣(yàng)品台尺寸：4英寸

樣品固(gù)定：樣品固(gù)定(dìng)

觀察窗口：4英(yīng)寸

真空度：10-6 torr

探針(zhēn)臂接口(kǒu)：最多6個(gè)探(tàn)針臂接口(kǒu)

其(qí)他接(jiē)口：電信(xìn)接口，真空(kōng)接口，光纖(xiān)接(jiē)口，冷(lěng)源(yuán)接口

製(zhì)冷方式：製冷機

控(kòng)製方(fāng)式：閉(bì)循環自動(dòng)控(kòng)製

溫(wēn)度範(fàn)圍(wéi)：4.5K ~ 450K

溫度(dù)分(fēn)辨率(shuài)：0.1K / 0.01K / 0.001K

穩定(dìng)性：±1K / ±0.1K / ±0.01K

顯(xiǎn)微鏡

X-Y-Z 移動行程：50mm×25mm×13mm

結(jié)構：外(wài)置探針臂(bì)，真(zhēn)空波(bō)紋(wén)管(guǎn)結(jié)構(gòu)

移(yí)動精度：10μm / 1μm

光源：外置LED環形光(guāng)源 / 同軸(zhóu)光(guāng)源

CCD：200萬像素(sù) / 500萬像(xiàng)素 / 1200萬像(xiàng)素

探(tàn)針座

X-Y-Z 移(yí)動行(háng)程(chéng)：X-Y-Z 移動行程(chéng)

結(jié)構：外(wài)置探針臂，真空(kōng)波紋管結構

移(yí)動精度(dù)：10μm / 1μm

探針(zhēn)夾具

綫纜：同軸(zhóu)綫(xiàn) / 三軸綫 / 射頻綫

漏(lòu)電(diàn)精度(dù)：10pA / 100fA / 10fA

固定(dìng)探(tàn)針：彈(dàn)簧(huáng)固定(dìng) / 螺絲固(gù)定(dìng)

接(jiē)頭(tóu)類型：BNC / 三軸 / 香蕉(jiāo)頭 / 鱷魚(yú)夾 / 接綫端(duān)子/ 射(shè)頻(pín)接(jiē)口

探針(zhēn)

射(shè)頻(pín)支(zhī)持：DC-67GHZ

針(zhēn)尖直(zhí)徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材(cái)質：鎢鋼(gāng) / 鈹(pí)銅

真空組(zǔ)件：分子泵組 / 機械泵(bèng)

冷源(yuán)組(zǔ)件(jiàn)：50L / 100L 液氮罐(guàn) / 液氦(hài)罐(guàn) / 製(zhì)冷(lěng)機(jī)

外形重量：730mm×750mm×1265mm（長寬(kuān)高）      約100kg

防(fáng)震桌參(cān)數：

阻(zǔ)尼隔振防震(zhèn)桌

隔振(zhèn)方式:高(gāo)級復合材料隔振

材質:不(bù)鏽鋼 / 碳(tàn)鋼

平麵度(dù):0.05mm / m2

粗糙度(dù):＜0.8μm

孔距(jù):25×25mm

孔徑:M6

平台(tái)尺(chǐ)寸(cùn)（長(cháng)寬):可(kě)定製(zhì)

平台厚度(dù)：50 / 100 / 200mm

固有頻率(shuài):6Hz - 8Hz

支撐腿:阻尼支撐腿

支撐腿數(shù)量(liáng):4個 / 6個

支(zhī)撐腿(tuǐ)高(gāo)度(dù):800mm±10mm

其他(tā):內(nèi)芯采用蜂(fēng)窩(wō)支撐，表麵(miàn)密(mì)迪紋處(chǔ)理，支(zhī)撐腳可(kě)選(xuǎn)腳(jiǎo)輪，特殊(shū)尺(chǐ)寸可定(dìng)製(zhì)