半導體封裝材料(liào)真空探(tàn)針台(tái)

半(bàn)導體(tǐ)封裝材料真空探針(zhēn)台產品參數(shù)：

腔體(tǐ)

樣品台尺寸(cùn)：2英寸

樣品固定：樣品固定

觀察(chá)窗(chuāng)口：2英寸(cùn)

真(zhēn)空度(dù)：10-6 torr

探針臂(bì)接口：最多6個(gè)探(tàn)針(zhēn)臂(bì)接(jiē)口(kǒu)

其他接口：電信接(jiē)口
，真空(kōng)接(jiē)口(kǒu)
，光纖接(jiē)口(kǒu)
，冷源(yuán)接口(kǒu)

製(zhì)冷(lěng)方(fāng)式(shì)：液氮 / 液氦

控(kòng)製(zhì)方(fāng)式：開(kāi)循(xún)環手(shǒu)動

溫度(dù)範圍：77K ~ 450K / 4.5K ~ 450K

溫度(dù)分(fēn)辨(biàn)率：0.1K / 0.01K / 0.001K

穩(wěn)定(dìng)性：±1K / ±0.1K / ±0.01K

顯微(wēi)鏡

X-Y-Z 移動行程：50mm×25mm×13mm

結(jié)構：外置探針(zhēn)臂
，真空(kōng)波紋管(guǎn)結構(gòu)

移(yí)動(dòng)精(jīng)度(dù)：10μm / 1μm

光源：外(wài)置LED環形光源 / 同軸(zhóu)光源(yuán)

CCD：200萬(wàn)像(xiàng)素 / 500萬像素(sù) / 1200萬(wàn)像素(sù)

探(tàn)針座(zuò)

X-Y-Z 移(yí)動行程(chéng)：X-Y-Z 移動(dòng)行程

結(jié)構(gòu)：外置探(tàn)針(zhēn)臂
，真(zhēn)空(kōng)波紋管(guǎn)結構

移(yí)動(dòng)精(jīng)度：10μm / 1μm

探(tàn)針夾具

綫纜(lǎn)：同軸(zhóu)綫 / 三軸(zhóu)綫(xiàn) / 射(shè)頻(pín)綫

漏(lòu)電精(jīng)度(dù)：10pA / 100fA / 10fA

固(gù)定(dìng)探(tàn)針(zhēn)：彈簧固(gù)定(dìng) / 螺絲(sī)固(gù)定

接(jiē)頭(tóu)類(lèi)型(xíng)：BNC / 三軸(zhóu) / 香(xiāng)蕉頭 / 鱷魚(yú)夾(jiā) / 接綫(xiàn)端(duān)子/ 射頻(pín)接(jiē)口

探針(zhēn)

射頻支(zhī)持：DC-67GHZ

針尖(jiān)直(zhí)徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材質：鎢(wū)鋼(gāng) / 鈹(pí)銅(tóng)

真空組(zǔ)件：分(fēn)子泵(bèng)組 / 機械泵

冷源(yuán)組(zǔ)件：50L / 100L 液氮(dàn)罐 / 液(yè)氦(hài)罐 / 製冷機

外(wài)形重量：730mm×750mm×1265mm（長(cháng)寬(kuān)高(gāo)）      約(yuē)100kg

防(fáng)震桌(zhuō)參數(shù)：

氣(qì)浮隔振防震桌(zhuō)

隔(gé)振(zhèn)方式:隔(gé)振方式

材(cái)質:不(bù)鏽鋼(gāng) / 碳鋼

平麵度(dù):0.05mm / m2

粗糙度:＜0.8μm

孔(kǒng)距(jù):25×25mm

孔(kǒng)徑(jìng):M6

平(píng)台(tái)尺(chǐ)寸(cùn)（長(cháng)寬):可(kě)定製(zhì)

平台厚度：50 / 100 / 200mm

固有(yǒu)頻率:.5Hz - 2Hz

支(zhī)撐腿:氣浮支撐腿(tuǐ)

支撐腿數量:4個 / 6個(gè)

支撐腿高(gāo)度:800mm±10mm

其他(tā):內芯采用蜂(fēng)窩支撐
，表(biǎo)麵(miàn)密迪紋(wén)處理
，支(zhī)撐腳可選(xuǎn)腳(jiǎo)輪(lún)
，特(tè)殊尺寸(cùn)可定(dìng)製

產品參數：

腔體(tǐ)

樣品(pǐn)台尺(chǐ)寸：4英寸

樣品固定：樣品固(gù)定

觀察(chá)窗口：4英寸

真(zhēn)空(kōng)度：10-6 torr

探針臂(bì)接口(kǒu)：最(zuì)多6個(gè)探針臂(bì)接口

其他接(jiē)口：電信接口
，真(zhēn)空接(jiē)口(kǒu)
，光纖接口
，冷源接口

製冷(lěng)方式(shì)：製(zhì)冷機

控製方(fāng)式(shì)：閉(bì)循環自動控(kòng)製(zhì)

溫(wēn)度範圍：4.5K ~ 450K

溫(wēn)度分(fēn)辨(biàn)率(shuài)：0.1K / 0.01K / 0.001K

穩(wěn)定(dìng)性(xìng)：±1K / ±0.1K / ±0.01K

顯(xiǎn)微(wēi)鏡

X-Y-Z 移動行(háng)程(chéng)：50mm×25mm×13mm

結構(gòu)：外(wài)置探(tàn)針(zhēn)臂(bì)
，真空波紋管(guǎn)結構

移動(dòng)精(jīng)度(dù)：10μm / 1μm

光源：外置(zhì)LED環形(xíng)光源(yuán) / 同軸(zhóu)光源(yuán)

CCD：200萬像(xiàng)素 / 500萬(wàn)像(xiàng)素 / 1200萬(wàn)像(xiàng)素(sù)

探(tàn)針座(zuò)

X-Y-Z 移(yí)動(dòng)行程(chéng)：X-Y-Z 移動(dòng)行程

結(jié)構：外置探針臂(bì)
，真空(kōng)波(bō)紋(wén)管結(jié)構

移動(dòng)精度：10μm / 1μm

探針(zhēn)夾具

綫纜(lǎn)：同(tóng)軸綫(xiàn) / 三(sān)軸綫(xiàn) / 射(shè)頻(pín)綫

漏(lòu)電(diàn)精度(dù)：10pA / 100fA / 10fA

固定探針：彈簧固定 / 螺絲固定

接(jiē)頭(tóu)類型：BNC / 三軸(zhóu) / 香蕉頭 / 鱷魚(yú)夾(jiā) / 接綫端子/ 射頻(pín)接口

探針

射(shè)頻支持：DC-67GHZ

針尖直徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材質(zhì)：鎢(wū)鋼 / 鈹銅

真空(kōng)組件：分子(zǐ)泵(bèng)組(zǔ) / 機械泵

冷(lěng)源(yuán)組(zǔ)件(jiàn)：50L / 100L 液氮(dàn)罐 / 液氦(hài)罐(guàn) / 製冷(lěng)機

外(wài)形(xíng)重量：730mm×750mm×1265mm（長寬高）      約(yuē)100kg

防震桌(zhuō)參數(shù)：

阻尼(ní)隔(gé)振(zhèn)防震桌

隔(gé)振(zhèn)方式:高(gāo)級(jí)復(fù)合(hé)材(cái)料(liào)隔振(zhèn)

材質:不(bù)鏽鋼 / 碳鋼(gāng)

平麵度:0.05mm / m2

粗(cū)糙度:＜0.8μm

孔距(jù):25×25mm

孔徑:M6

平(píng)台尺(chǐ)寸（長寬):可定(dìng)製

平(píng)台厚度(dù)：50 / 100 / 200mm

固有(yǒu)頻(pín)率:6Hz - 8Hz

支撐腿:阻尼支撐腿

支撐腿數量:4個 / 6個(gè)

支撐(chēng)腿(tuǐ)高(gāo)度:800mm±10mm

其他(tā):內(nèi)芯(xīn)采(cǎi)用蜂(fēng)窩(wō)支撐
，表(biǎo)麵密(mì)迪紋處理
，支撐腳(jiǎo)可選腳輪(lún)
，特殊尺寸可定製