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真空(kōng)晶圓退火(huǒ)爐

簡(jiǎn)要描述:真空(kōng)晶(jīng)圓(yuán)退火(huǒ)爐的(dí)反射鏡是具(jù)有(yǒu)高(gāo)精度(dù)曲率(shuài),采(cǎi)用5軸(zhóu)加(jiā)工係統加工,以提高(gāo)反(fǎn)射(shè)率(shuài)。反(fǎn)射鏡有(yǒu)兩(liǎng)種類型,一種(zhǒng)是(shì)圓形的,一種是拋(pāo)物(wù)綫(xiàn)型(xíng)的,它們適合(hé)各種材料的在溫度製(zhì)控(kòng)的條(tiáo)件下的測試。

  • 產(chǎn)品型號:Huace800G
  • 廠商(shāng)性質(zhì):生產廠(chǎng)家(jiā)
  • 更(gēng)新(xīn)時間:2025-12-19
  • 訪  問  量(liáng):3200

產品(pǐn)分(fēn)類(lèi)

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詳細(xì)介(jiè)紹

品牌華測(cè)儀器重量(liáng)20kg
應用領域醫療(liáo)衛(wèi)生(shēng),化工(gōng),電子(zǐ)/電池(chí),航空(kōng)航天(tiān),電氣

儀(yí)器介紹:

 華(huá)測儀(yí)器(qì)通過(guò)多年(nián)研(yán)究開發(fā)了一種可實現(xiàn),高(gāo)反(fǎn)射(shè)率的拋物麵(miàn)與高(gāo)質(zhì)量(liáng)的(dí)加熱(rè)源相配置儀(yí)器,在高(gāo)速加熱高(gāo)速(sù)冷(lěng)卻時,具(jù)有(yǒu)良好的(dí)溫度分(fēn)布(bù)。可實現寬域(yù)均熱(rè)區,高速(sù)加熱,高速冷卻,用(yòng)石(shí)英(yīng)管(guǎn)保(bǎo)護加熱式樣(yàng),無氣氛汙(wū)染。可在(zài)高真空(kōng), 高出(chū)純度(dù)氣體(tǐ)中(zhōng)加熱。設備(bèi)可組(zǔ)成均熱高(gāo)速加(jiā)熱爐,溫(wēn)度(dù)斜率爐,階(jiē)段(duàn)加(jiā)熱(rè)爐(lú),是目前(qián)理想的(dí)一(yī)種(zhǒng)高真空退火爐。

 它(tā)提高(gāo)了(liǎo)加熱(rè)試驗能力(lì)。同電(diàn)阻爐和其(qí)他(tā)爐相(xiāng)比,紅(hóng)外綫(xiàn)反(fǎn)射退火(huǒ)爐節(jié)省(shěng)了(liǎo)升(shēng)溫(wēn)時(shí)間和保(bǎo)持(chí)時間及(jí)自然冷卻到室溫(wēn)所需(xū)時間(jiān),再試(shì)驗中(zhōng)也可改寫(xiě)設(shè)定(dìng)溫(wēn)度(dù)值。從各方(fāng)麵講(jiǎng),都能(néng)節省(shěng)時間並提(tí)高實(shí)驗(yàn)速度。同高頻(pín)爐相比,不需(xū)特殊(shū)的安裝條件及對(duì)加熱試(shì)樣的(dí)要求(qiú)。同(tóng)電阻(zǔ)爐一樣安裝簡單,有冷卻係(xì),an全(quán)可(kě)靠。以提(tí)高試驗(yàn)人(rén)員的(dí)工(gōng)作(zuò)效(xiào)率,實現全溫度(dù)控製(zhì)操(cāo)作!


儀器(qì)原(yuán)理:

 原理為加熱絲或桂(guì)碳棒對(duì)爐(lú)體加熱,加(jiā)熱(rè)與(yǔ)降溫(wēn)速度慢,效率(shuài)低下,也無(wú)法(fǎ)實(shí)現(xiàn)溫度(dù)的測(cè)量,加熱(rè)區域也(yě)存在(zài)不均匀的現(xiàn)象(xiàng)。

 高(gāo)真(zhēn)空退(tuì)火爐(lú)的(dí)反射(shè)鏡是具有(yǒu)曲(qū)率,采(cǎi)用(yòng)5軸(zhóu)加工係統加(jiā)工,以(yǐ)提高(gāo)反射(shè)率(shuài)。反射鏡(jìng)有兩(liǎng)種(zhǒng)類(lèi)型,一種是(shì)橢圓(yuán)形(xíng)的(dí),另一種(zhǒng)是拋(pāo)物綫(xiàn)型的(dí),它們(mén)適合(hé)各種材料的(dí)在溫(wēn)度(dù)製(zhì)控(kòng)的條件下(xià)的測試。


設備優勢:

高速(sù)加熱與(yǔ)冷(lěng)卻(què)方式

高(gāo)能量的(dí)紅外(wài)燈和鍍金(jīn)反射(shè)方(fāng)式允(yǔn)許高速(sù)加(jiā)熱到高(gāo)溫。同(tóng)時(shí)爐(lú)體可配置水(shuǐ)冷係統,增(zēng)設(shè)氣(qì)體冷卻(què)裝置(zhì),可實(shí)現(xiàn)快速冷卻。

溫度控(kòng)製

過(guò)紅(hóng)外鍍金(jīn)聚焦爐(lú)和溫度控製(zhì)器(qì)的組合(hé)使用(yòng),可以精確控製(zhì)樣(yàng)品的溫(wēn)度(遠(yuǎn)比普(pǔ)通(tōng)加溫(wēn)方(fāng)式此外,冷卻(què)速度和保(bǎo)持(chí)在任何溫度(dù)下(xià)可提供。

不同環境(jìng)下(xià)的(dí)加(jiā)熱與(yǔ)冷(lěng)卻

加熱(rè)/冷(lěng)卻可用真空,氣(qì)氛環境(jìng),低溫(高純(chún)度惰性氣體(tǐ)靜態(tài)或流(liú)動),操作簡單,使(shǐ)用石(shí)英(yīng)玻璃製成(chéng)。紅外(wài)綫可傳送到加熱/冷(lěng)卻(què)室。

設(shè)備(bèi)結構:

1,反射(shè)爐溫度控製(zhì)裝(zhuāng)置:

高速(sù)升溫時,配套(tào)的快(kuài)速反(fǎn)應(yīng)的(dí)控(kòng)製裝(zhuāng)置,本(běn)控製裝置采用可編程(chéng)溫度控製(zhì)器。高設計(jì),響應(yīng)速(sù)度快(kuài)。

2,可選配置(zhì):

1幹栗:抽速彡120L/min,極(jí)限(xiàn)真空度彡4pa,噪音(yīn)小(xiǎo)於52db;

2全量(liáng)程(chéng)真(zhēn)空規:刀口(kǒu)法(fǎ)蘭接口,真(zhēn)空測(cè)量範(fàn)圍5X10-7Pa1atm;

3為了高(gāo)速加(jiā)熱,設備(bèi)采用PID溫度控製,同時(shí)采(cǎi)用(yòng)移相(xiāng)觸發技術保證(zhèng)試(shì)驗溫度;

4根據設備(bèi)上(shàng)的(dí)溫度(dù)控製器輸入參數(shù),您也可以(yǐ)簡單(dān)輸入(rù)溫度程序設定和(hé)外(wài)部信號。另(lìng)外還(huán) 可以在(zài)電(diàn)腦(nǎo)上顯示熱(rè)中的(dí)溫(wēn)度(dù)數(shù)據;

5自適應熱(rè)電(diàn)偶(ǒu)包括(kuò)JIS,K,J,T,E,N,R,S,B,以(yǐ)及L,U,W;

6大可設定(dìng)32個(gè)程(chéng)序(xù),256個步(bù)驟的(dí)程(chéng)序(xù);

(7)30A,60A,120A內(nèi)置了 SCR電(diàn)路(lù),所以範圍很廣。

3,其他配(pèi)置:

序號

項目(mù)

數量

品牌(pái)

備注

1

爐(lú)體(tǐ)

1

華測

大溫度1200℃

2

加熱源

1

GE()


3

溫度控製(zhì)器(qì)

1

華(huá)測


4

電熱偶(ǒu)

1

omega


5

溫(wēn)控表

1

歐姆龍(lóng)()


6

穩壓電(diàn)源

1

華(huá)測

可定製(zhì)

7

製冷(lěng)水(shuǐ)機

1

同(tóng)飛

製(zhì)冷功率8KW

8

分子(zǐ)泵

1

萊寶()

CF法蘭,抽(chōu)速≥40L/s,極限真空(kōng)度(dù)優於(yú)-0.8Mpa

真(zhēn)空晶圓退火爐 真空(kōng)晶圓退火(huǒ)爐

儀器(qì)試樣試驗:

真空晶圓退火爐(lú)

真空(kōng)晶圓(yuán)退火(huǒ)爐

多(duō)應用:

樣品(pǐn)腔內徑≥30mm;      退(tuì)火(huǒ)爐(lú)外(wài)徑(jìng):≤100mm

1,電子(zǐ)材料(liào)

半導(dǎo)體用(yòng)矽(guī)化(huà)合化的PRA (加熱(rè)後(hòu)急(jí)速冷卻)

熱源薄(báo)膜(mó)形成(chéng)

激活離子注(zhù)入(rù)後

矽(guī)化物的形(xíng)成

2,陶瓷與無(wú)機(jī)材料

陶瓷基(jī)板退(tuì)火爐

玻璃基板退火(huǒ)爐(lú)。

3,鋼鐵(tiě)和(hé)金屬材(cái)料

薄(báo)鋼板加(jiā)熱過程的(dí)數(shù)值(zhí)模(mó)擬(nǐ)

爐焊(hàn)接(jiē)模(mó)擬

高(gāo)真空熱處(chǔ)理(1000°c以下)

大氣氣(qì)體(tǐ)熔化(huà)過(guò)程(chéng)

壓(yā)力下耐(nài)火(huǒ)鋼(gāng)和合(hé)金(jīn)的(dí)熱(rè)循環試驗爐(lú)

4,復(fù)合(hé)材料

耐熱(rè)性(xìng)評價爐

無機復合(hé)材(cái)料熱(rè)循環(huán)試(shì)驗(yàn)爐

5,其他(tā)

高溫(wēn)拉(lā)伸(shēn)壓縮試(shì)驗(yàn)爐(lú)

分段分(fēn)區控製(zhì)爐

溫度梯(tī)度(dù)爐

爐(lú)氣(qì)分析(xī)

超導陶(táo)瓷(cí)退火(huǒ)爐


高(gāo)真空退(tuì)火爐(lú)/*材料測試(shì)儀(yí)

高真(zhēn)空(kōng)退(tuì)火(huǒ)爐(lú)/*材(cái)料測(cè)試儀




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北(běi)京華(huá)測試驗(yàn)儀器有限公(gōng)司(sī)
地(dì)址:北京海澱區
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