簡介：

 HCTZ-2型數字式四(sì)探針(zhēn)測(cè)試儀器(qì)是運用四探(tàn)針(zhēn)測量原(yuán)理的多用途(tú)綜(zōng)合測(cè)量設備(bèi)。

 儀器(qì)由主機，探針(zhēn)測(cè)試台，四探針探頭(tóu)，計算(suàn)機(jī)等部(bù)分組(zǔ)成
，測量(liáng)數據既可由(yóu)四探(tàn)針測(cè)試儀器主(zhǔ)機(jī)直(zhí)接顯(xiǎn)示
，亦(yì)可(kě)與計算機(jī)相連接(jiē)通過四探針(zhēn)軟件測試係(xì)統(tǒng)控製測試儀(yí)進行(háng)測(cè)量並(bìng)采(cǎi)集測試(shì)數據(jù)
，把采(cǎi)集到的數據在計算(suàn)機(jī)中加(jiā)以(yǐ)分(fēn)析(xī)
，然後(hòu)把(bǎ)測(cè)試數據以表(biǎo)格(gé)
，圖形直觀(guān)地(dì)記錄，顯(xiǎn)示(shì)出(chū)來(lái)。用戶可對采集到的(dí)數據(jù)在(zài)電腦中保(bǎo)存(cún)或者(zhě)打印以(yǐ)備(bèi)日後(hòu)參考和查看
，還(huán)可(kě)以把采集到(dào)的數據(jù)輸出到(dào)Excel中(zhōng)
，讓用(yòng)戶對數據(jù)進(jìn)行(háng)各種數(shù)據分(fēn)析。

 儀器采用了電子(zǐ)技術進(jìn)行(háng)設計(jì)，裝配。具有(yǒu)功(gōng)能(néng)選(xuǎn)擇(zé)直觀(guān)，測量取數快(kuài)，精度高，測量範圍寬(kuān)，穩定(dìng)性好，結構(gòu)緊(jǐn)湊，易操(cāo)作等特點。

 本儀器適(shì)用(yòng)於半導體(tǐ)材料(liào)廠，半(bàn)導體(tǐ)器(qì)件廠，科研單(dān)位(wèi)，高等院校(xiào)對半(bàn)導(dǎo)體材料(liào)的電阻(zǔ)測(cè)試。

測量(liáng)原理：

將四(sì)根排(pái)成(chéng)一(yī)條(tiáo)直(zhí)綫(xiàn)的(dí)探(tàn)針以一(yī)定的壓力垂直(zhí)地(dì)壓在(zài)被(bèi)測(cè)樣品表麵上
，在 1，4 探針間通以電流 I(mA)
，2，3 探(tàn)針間就產(chǎn)生(shēng)一(yī)定(dìng)的電壓(yā) V(mV)(如圖1)。測(cè)量此(cǐ)電壓(yā)並根據測量方(fāng)式和樣品的尺(chǐ)寸不(bù)同。

直綫四(sì)探(tàn)針測試原(yuán)理圖

技術指(zhǐ)標：

1，測量範(fàn)圍

電(diàn)阻(zǔ)率：10^-4～10⁵Ω.cm；

方塊電(diàn)阻(zǔ)：10^-3～10⁶Ω/□；

電阻：10^-4～10⁵Ω；

電(diàn)導(dǎo)率(shuài)：10^-5～10⁴s/cm；

可(kě)測晶(jīng)片(piàn)直徑：140mmX150mm (配S-2A型測試台(tái))；

      200mmX200mm (配S-2B型測試台(tái))；

        400mmX500mm (配S-2C型(xíng)測試台(tái))；

2，恒流源

電流(liú)量程分為(wéi) 1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA 六檔
，各(gè)檔電流(liú)連(lián)續(xù)可調；

3，數字(zì)電壓(yā)表

量程及(jí)表示形(xíng)式：000.00～199.99mV；　　　　　

分(fēn)辨力(lì)：10μV；

輸入(rù)阻抗：＞1000MΩ；  

精度(dù)：±0.1%；

顯示：點陣顯示(shì)屏(píng)；　　

4 ，四探針探(tàn)頭(tóu)基本(běn)指(zhǐ)標

間距：1±0.01mm；

針(zhēn)間絕(jué)緣電(diàn)阻(zǔ): ≥1000MΩ；

機(jī)械(xiè)遊(yóu)移率: ≤0.3％；

探針：碳化(huà)鎢或高速鋼材(cái)質
，探(tàn)針直(zhí)徑(jìng)Ф0.5mm；

探針壓(yā)力(lì)：5～16 牛(niú)頓(總力)；

5 ，四探針探(tàn)頭(tóu)應用(yòng)參數(shù)

C：探針(zhēn)係數；

F：探(tàn)針(zhēn)間距修正因子；

S：探針平(píng)均間(jiān)距；

6， 模擬電阻(zǔ)測量相對誤差（按(àn) JJG508-87 進行(háng)）

0.01Ω，0.1Ω，1Ω，10Ω，100Ω，1000Ω，10000Ω≤0.3％±１字(zì)；

7 ，整(zhěng)機(jī)測量大相(xiāng)對誤差(chà)

(用(yòng)矽標樣(yàng)片:0.01-180Ω.cm 測試)≤±5％；

8 ，整機(jī)測量(liáng)標準(zhǔn)不確(què)定度≤5％；

9 ，外型尺寸（大(dà)約(yuē)）

電氣主(zhǔ)機: 460mm×320mm×100mm；

10 ，儀器重(zhòng)量(liáng)（大約）

電氣主(zhǔ)機: 3.5kg；

11，標(biāo)準(zhǔn)使用(yòng)環(huán)境

溫(wēn)度:：23±2℃；

相對(duì)濕度(dù)：≤65％；

無高頻幹(gān)擾(rǎo)；

無強(qiáng)光(guāng)直射；

注意:使用(yòng)1μA量程時
，允(yǔn)許有小於1.0nA的空(kōng)載(zǎi)電(diàn)流.應在相(xiāng)對濕度(dù)小(xiǎo)於50%時(shí)使用。

設備特點(diǎn)：

1，可以測(cè)量高溫(wēn)，真(zhēn)空，氣氛(fēn)下(xià)薄(báo)膜(mó)方(fāng)塊電阻和(hé)薄層電(diàn)阻(zǔ)率(shuài)；

2，軟(ruǎn)件，觸摸屏，高溫爐等(děng)集成於一體
，可以進行(háng)可視(shì)化操作(zuò)；

3，可實現純(chún)淨(jìng)氣氛條件(jiàn)下的測(cè)量；同時保證(zhèng)探針(zhēn)在(zài)高溫下不氧化(huà)；

4，采(cǎi)用labview軟(ruǎn)件(jiàn)開(kāi)發(fā)
，操(cāo)控(kòng)性，兼容性(xìng)好(hǎo)，方便(biàn)升(shēng)級(jí)；

5，可自動(dòng)調節樣品測試電壓(yā)
，探針和(hé)薄(báo)膜(mó)接觸閃(shǎn)絡現象(xiàng)；

6，控(kòng)溫和(hé)測溫采(cǎi)用(yòng)同一(yī)個傳感器
，保證樣品(pǐn)每(měi)次(cì)采集的溫度(dù)都(dū)是樣品實(shí)際溫(wēn)度(dù)；

7，可(kě)配(pèi)套使用(yòng)Keithley2400或(huò)2600數字多用表(biǎo)。

設備(bèi)保(bǎo)養：

經常(cháng)保持(chí)設(shè)備和計算機的(dí)清潔，衛生。

預(yù)防(fáng)高溫，過濕，灰(huī)塵，腐蝕性(xìng)介(jiè)質，水等(děng)浸入機器(qì)或計(jì)算(suàn)機內(nèi)部(bù)。

定期檢查
，保(bǎo)持零件，部件(jiàn)的(dí)完整(zhěng)性。